FD-SOI的技術特性：

• 可改善DIBL等短溝道效應
• 可改善器件的亞閾特性
• 降低電路的靜態功耗
• 無需溝道摻雜

FD-SOI的應用範圍：

• 20nm及更高級別製程的移動/消費電子產品

為了在下一代晶體管技術競賽中位居前列，SOI工業聯盟近日宣布他們已經在麵向下一代移動設備的全耗盡型SOI技術方麵取得了更多進展。該組織宣布了對FD-SOI技術（全耗盡型SOI技術
，有些文獻上也寫成ETSOI即超薄型SOI）的評估結果和有關的參數特性，並稱這項技術適合 20nm及更高級別製程的移動/消費電子產品使用。該組織並演示了基於ARM處理器上的平麵型FD-SOI技術的優勢。
體矽CMOS技術走到22nm之後，特征尺寸已很難繼續微縮，急需革新技術來維持進一步發展。在候選技術之中，FDSOI（Fully Depleted SOI，全耗盡SOI）技術極具競爭力。對於FDSOI晶體管，矽薄膜自然地限定了源漏結深
，同時也限定了源漏結耗盡區，從而可改善DIBL（Drain Induced Barrier Lowering，漏致勢壘降低）等短溝道效應，改善器件的亞閾特性，降低電路的靜態功耗。此外，FDSOI晶體管無需溝道摻雜
，可以避免RDF（Random Dopants FluctuatiON，隨機摻雜漲落）等效應，從而保持穩定的閾值電壓，同時還可以避免因摻雜而引起的遷移率退化。

SOI晶圓製備技術的發展也為FDSOI投入應用提供了良好的支撐。為了使晶體管獲得理想的性能，FDSOI晶圓的頂層矽膜和隱埋氧化層（Buried Oxide
，BOX）須非常薄。目前市場上已出現相應的產品，可滿足現階段的應用需求。

SOI技術的發展環境也日益改善。自2007年SOI聯盟（SOI Consortium）成立以來，越來越多的公司和機構開始關注SOI技術，並加入到推廣SOI技術的隊伍中。目前SOI聯盟已有會員30個
，包括科研機構、材料商、設備商


、集成芯片製造商
、芯片設計商、芯片代工商、EDA供應商等
，貫穿整個產業鏈。在這些廠商的努力下，產業對SOI的認識變得更為全麵、準確和深入。

綜上所述
，FDSOI走向大規模應用的時機已經到來
，如能成功地縱身一躍，將完成SOI技術發展史上最華麗的篇章。