產品特性：

• 采用先進的微電子和微機械加工相結合的工藝技術
• 產品精度優於0.075%FS

應用範圍：

• 帶動了傳感器、變送器及相關儀表產業的發展

國機集團所屬沈陽儀表院承擔的沈陽市高新技術產業發展計劃項目“高性能矽電容壓力傳感器”近日順利通過驗收。

該項目采用先進的微電子和微機械加工相結合的工藝技術，在矽電容傳感器設計
、製造工藝技術、傳(chuan)感(gan)器(qi)封(feng)裝(zhuang)結(jie)構(gou)等(deng)方(fang)麵(mian)具(ju)有(you)創(chuang)新(xin)性(xing)
，解(jie)決(jue)了(le)矽(gui)電(dian)容(rong)傳(chuan)感(gan)器(qi)研(yan)製(zhi)的(de)工(gong)藝(yi)技(ji)術(shu)難(nan)題(ti)，開(kai)發(fa)研(yan)製(zhi)出(chu)完(wan)全(quan)擁(yong)有(you)自(zi)主(zhu)知(zhi)識(shi)產(chan)權(quan)的(de)新(xin)型(xing)高(gao)性(xing)能(neng)矽(gui)電(dian)容(rong)差(cha)壓(ya)傳(chuan)感(gan)器(qi)產(chan)品(pin)，產(chan)品(pin)精(jing)度(du)優(you)於(yu)0.075%FS，技術水平達到國內領先
、國際一流。

項(xiang)目(mu)建(jian)成(cheng)了(le)年(nian)生(sheng)產(chan)能(neng)力(li)一(yi)萬(wan)台(tai)的(de)矽(gui)電(dian)容(rong)差(cha)壓(ya)傳(chuan)感(gan)器(qi)生(sheng)產(chan)線(xian)，實(shi)現(xian)了(le)產(chan)品(pin)的(de)係(xi)列(lie)化(hua)生(sheng)產(chan)
，並(bing)首(shou)次(ci)實(shi)現(xian)智(zhi)能(neng)變(bian)送(song)器(qi)產(chan)品(pin)核(he)心(xin)傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)國(guo)產(chan)化(hua)配(pei)套(tao)
，打(da)破(po)了(le)國(guo)外(wai)的(de)技(ji)術(shu)封(feng)鎖(suo)，填(tian)補(bu)了(le)國(guo)內(nei)空(kong)白(bai)。同(tong)時(shi)
，作(zuo)為(wei)上(shang)遊(you)核(he)心(xin)器(qi)件(jian)，該(gai)項(xiang)研(yan)究(jiu)帶(dai)動(dong)了(le)傳(chuan)感(gan)器(qi)、變送器及相關儀表產業的發展，解決了有表無芯的問題，有效地支撐了高端裝備製造產業鏈建設。