新聞事件：

• IMEC等聯合開發出將振動能量轉換為電力的MEMS元件
• 並獲得了最大85μW的電力

比利時研究機構IMEC

、荷蘭研究機構Holst Centre與TNO在“2009 IEEE International Electron Devices Meeting（IEDM 2009）”上宣布，聯合開發出了將振動能量轉換為電力的MEMS元件，並獲得了最大85μW的電力。此前IMEC開發出的MEMS元件中，最大電力為60μW。

此次的元件是采用6英寸矽晶圓形成矽MEMS，然後在此處積層壓電材料AlN（氮化鋁）後製作出來的。原來壓電元件一直采用PZT（鋯鈦酸鉛）。AlN在積層時無需精密調整鋁（Al）與氮（N）的比例，積層速度比PZT快3倍。通過改變MEMS的尺寸等，元件的諧振頻率可設定在150～1200Hz的範圍內。

另外，IMEC等還將該MEMS元件實際封裝於無線發送數據的溫度傳感器中。該溫度傳感器以10μW的電力工作

，因此一旦施加加速度為0.64g、振動頻率為353Hz的振動
，便可每隔15秒向基站傳送溫度數據。