隨著 5G 發展
，相控陣天線被廣泛應用於高增益、高效率


、duoboshudetianxianxitong。zaixiangkongzhentianxiantongguoyixiangqikeyijiangfusheboshusaomiaodaobutongfangxiang。weiletigaoxiangkongzhenxitongdezhengtixingneng
，youqishizaifashexindaozhong，yaoqiuyixiangqijuyoudisunhao、寬帶、低功耗、體積小、功率處理能力強的特點。因此，分布式 MEMS 傳輸線（DMTL）移相器被認為是滿足這些要求的潛在解決方案。

 

01. PART 

摘要

 

在本研究中，我們開發了一個適用於相控陣天線係統的 DMTL 移相器。DMTL 移相器設計為在 2～4GHz 時產生兩態相移（0°和 90°）。該移相器有 15 個 MEMS 並聯開關，通過在開關狀態下改變電容來控製移相。電容的這種變化將改變傳輸線的阻抗和傳輸速度
，從而提供差分相移。

 

利用 HFSS 對移相器進行電磁性能仿真
，主要優化阻抗匹配、插入損耗和相移三個關鍵參數。

 

MEMS 器件仿真設計難點之一是網格尺寸的確定，仿真的精度取決於網格的大小。在本設計中，用於 DMTL 移相器的 MEMS 電橋的尺寸為 372µm（長）×50µm（寬）
，如圖 1 所示。當 MEMS 橋向傳輸線的中心導體向下拉時，其電容增大。因此

，準確地模擬出移相器在上、xiazhuangtaishidedianrongzhi，duiyubaozhengyixiangqichanshengzhunquedexiangyizhishifeichangzhongyaode。weileshixianzheyidian，zaimoxingdemouxiequyu

，tebieshizaiqiaoliangquyu
，quebaowanggehuafendejingxidushihuodezhunquefangzhenjieguodeguanjian。

 

對於三維電磁求解器（仿真軟件），網格劃分是一個非常關鍵的過程，有時需要用戶較深網格知識。利用 HFSS zhongtigongdezishiyingwanggexihuagongneng，wanggedaxiaobubishoudongqueding，zishiyingwanggehuafengongjujiangzidongshezhimoxingdewanggedaxiao，bingzhujianxihuawanggedaxiao，zhidaodadaomougezhunze


，congerbaozhengfangzhendejingduhezhundu。