機遇與挑戰：

• 光伏設備成為國內半導體設備行業領頭羊
• 其關鍵設備有待突破
• 中國半導體產業正處於升級換代時期

市場數據：

• 我國90%以上的半導體設備依賴進口
• 國產太陽能電池組件比國外低30%左右

半導體設備行業是技術含量較高的行業
，目前我國90%以上的半導體設備依賴進口，尤其在高端IC設備領域

，幾乎沒有國內設備的聲音。因此，從其他半導體設備領域取得突破後，再“反哺”IC設備可以說是中國半導體設備行業最切實可行的路。

光伏設備一枝獨秀

近兩年光伏設備的異軍突起使之成為國內半導體設備行業發展的領頭羊。中國電子專用設備工業協會秘書長金存忠在接受《中國電子報》記者采訪時表示，由於國內生產IC設備的企業不多，而且本身生產的量也很少
，導致國內IC設備在設備領域所占比重逐漸減小
，取而代之的是太陽能光伏設備以及LCD(液晶顯示器)
、LED(發光二極管)設備，這些市場的強勁需求帶動了國產設備的發展。

中電科技集團公司第48研究所副所長王俊朝表示，國內半導體設備產業總體的量不大
，大部分用在研發線和小型線上，而且由於國內IC生產線一般都是整線引進，因此國產設備要進入IC大生產線難上加難。“東方不亮西方亮”


，IC市場的不景氣被光伏市場的欣欣向榮所替代
，國內設備廠商迎來了快速發展甚至是超速發展的時期：國產太陽能電池生產設備及矽片加工設備已經在行業樹立起品牌美譽度。他介紹說，目前，我國光伏設備企業從矽材料生產
、矽片加工到太陽能電池芯片的生產以及相應的純水製備、環保處理、淨化工程的建設，已經初步具備成套供應能力
，部分產品如擴散爐
、等離子刻蝕機
、單晶爐

、多晶鑄錠爐等開始少量出口。“國產太陽能電池組件比國外低30%左右，很大一部分原因在於國產設備價格低，用國外設備建一條線的錢，可以用國內設備建3條線。”王俊朝對國產設備的價格優勢進行了分析。
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關鍵設備突破在即

盡jin管guan國guo產chan太tai陽yang能neng設she備bei逐zhu漸jian崛jue起qi，但dan其qi中zhong的de一yi些xie關guan鍵jian設she備bei還hai有you待dai突tu破po。王wang俊jun朝chao表biao示shi
，太tai陽yang能neng電dian池chi製zhi造zao設she備bei中zhong全quan自zi動dong絲si網wang印yin刷shua機ji是shi亟ji待dai攻gong克ke的de難nan題ti
，目mu前qian已yi經jing有you多duo家jia企qi業ye在zai攻gong關guan，估gu計ji最zui近jin一yi兩liang年nian會hui有you方fang案an出chu來lai;而er多duo晶jing矽gui連lian續xu製zhi絨rong設she備bei也ye已yi經jing有you樣yang品pin出chu來lai，過guo不bu了le多duo久jiu就jiu可ke以yi用yong在zai生sheng產chan線xian上shang了le。在zai多duo晶jing矽gui材cai料liao加jia工gong設she備bei中zhong多duo線xian切qie割ge機ji是shi要yao逾yu越yue的de關guan卡ka，目mu前qian也ye已yi經jing有you樣yang機ji出chu來lai。這zhe些xie都dou是shi值zhi得de期qi待dai的de。“中國太陽能光伏設備行業起步不晚，並且背靠中國這個產能最高、產量最大的太陽能電池市場。國產太陽能設備行業的崛起指日可待。”王俊朝對未來充滿了期待。光伏設備的發展離不開國內市場的全麵啟動，為此，王俊朝建議
，應盡早實施切實可行的“上網電價補貼法”並提高半導體尤其是太陽能光伏產品的出口退稅率;製定全麵的科技創新鼓勵政策，選定相關行業領軍企業給予重點支持。

七星華創副總經理張國銘在接受記者采訪時表示，目前七星華創正在開發晶體矽及薄膜太陽能設備，如清洗及PECVD設備的新型號，並且為滿足國內TFT-LCD產業的飛速發展，七星華創積極與國外廠商合作
，加強5代
、6代線設備的研發，目前，他們已經能為客戶提供產品。

半導體設備前景看好

當前
，中國半導體產業正處於升級換代的時期
，半導體產業升級的速度也決定了相關設備製造業的發展;yucitongshi
，zhongguozhengfuchutaidedianzixinxichanyezhenxingguihuayeweizhongguobandaotixingyedefazhandailailexindexiwang。zheyangkanlai，houweijishidaidezhongguobandaotijishebeizhizaoxingyejiangwuyihuiyinglaigengdadetiaozhanhejiyu。

yeneirenshibiaoshi
，guochanbandaotishebeiqiyeyinggaichongfenliyongbentuqiyedediyuyoushihejiageyoushi
，jiajinsuoxiaoyuguowaishebeidejishuchaju

，jiaqiangfuwuyishi
，weiguoneiguketigongliangshendingzuodechanpin
，yichanpinchayihuaqierushichang
，jianliqikuaisufanyingdefuwujizhi，geiguoneiyonghuyizugoudexinxin。

中電科技集團公司第45suofusuochangpeierzhanggaosujizhe，genjutamenmuqiansuozhangwodeshichangqingkuangfenxi，bandaotifenliqijianlingyushouxianzouchulejinrongweijideyingxiang，shengchanchangshangjiakuailetishengchanpindangcidesudu，zhengdafuzengjiashebeitouru
，kuodashengchanguimo
，yimanzumuqiangongbuyingqiudeshichangxuyao。45所正適應市場需求，及時調整產品結構
，加快新產品的開發力度
，縮短中試產品的生產周期，力爭實現2009年的銷售目標。

張國銘表示，盡管國產設備在集成電路市場泛不起什麼漣漪

，但他們並沒有放棄。目前他們正在研發高端12英寸清洗及氧化設備，現在已經完成樣機的內部工藝試驗，即將送到客戶生產線進行測試。