打造首款國產碳化矽生產設備, 德國PVA TePla集團助力中國半導體產業高質發展
發布時間:2024-03-22 來源:投稿 責任編輯:admin
中國,上海—2024年3月20日,半導體行業盛會 SEMICON China 2024啟幕,全球高端半導體設備製造商德國PVA TePla集團再次亮相,並向行業展示其最新打造的國產碳化矽晶體生長設備“SiCN”。該設備專為中國市場定製,並結合半導體行業生產特點,將德國的設計經驗和理念與中國本土化生產配套能力優勢聯合,采用PVT法(物理氣相傳輸工藝)生產碳化矽晶體,計劃於2024年第二季度投入市場。

PVA TePla亮相SEMICONChina2024
“作為PVA TePla在華打造的首款國產碳化矽晶體生長設備,‘SiCN’旨在幫助我們更好地滿足本土化需求,為中國市場提供成熟穩定的工藝設備,進一步幫助合作夥伴提升市場競爭力。”德國PVA TePla集團半導體業務中國區負責人謝秀紅表示,“中國已成為全球第三代半導體產業鏈中碳化矽襯底製造的重要基地。PVA TePlazaijingtishengchangshebeishejihezhizaolingyujileilefengfudejingyan,weilaijiangchixuzhiliyujiaqiangbentuhuagongyinglianjianshe,wanshanbentutuanduidejishufuwunengli,zhulizhongguobandaotichanyegaozhiliangfazhan。”
打造首款國產碳化矽晶體生長設備
在(zai)中(zhong)國(guo),電(dian)動(dong)汽(qi)車(che)和(he)諸(zhu)多(duo)新(xin)興(xing)行(xing)業(ye)的(de)蓬(peng)勃(bo)發(fa)展(zhan)為(wei)碳(tan)化(hua)矽(gui)襯(chen)底(di)材(cai)料(liao)帶(dai)來(lai)廣(guang)闊(kuo)機(ji)遇(yu)。碳(tan)化(hua)矽(gui)半(ban)導(dao)體(ti)材(cai)料(liao)的(de)生(sheng)產(chan)技(ji)術(shu)日(ri)漸(jian)成(cheng)熟(shu)穩(wen)定(ding),並(bing)已(yi)形(xing)成(cheng)相(xiang)當(dang)的(de)工(gong)業(ye)規(gui)模(mo)。作(zuo)為(wei)最(zui)早(zao)將(jiang)碳(tan)化(hua)矽(gui)晶(jing)體(ti)設(she)備(bei)引(yin)入(ru)中(zhong)國(guo)市(shi)場(chang)的(de)企(qi)業(ye)之(zhi)一(yi),德(de)國(guo)PVA TePla集團始終致力於融合中德前沿技術優勢。“SiCN”融彙了中國的本土化采購、生sheng產chan配pei套tao能neng力li和he德de國guo的de技ji術shu積ji累lei和he傳chuan承cheng,通tong過guo設she備bei更geng好hao的de可ke靠kao性xing和he一yi致zhi性xing運yun行xing,有you效xiao提ti高gao良liang品pin率lv,在zai降jiang低di製zhi造zao成cheng本ben的de同tong時shi達da到dao更geng優you效xiao益yi,幫bang助zhu下xia遊you客ke戶hu有you效xiao提ti高gao最zui終zhong產chan品pin的de附fu加jia值zhi和he核he心xin競jing爭zheng力li。

PVA TePla碳化矽晶體生長設備
·定製化:特定的晶體生長工藝通常是企業的高度機密,定製化晶體生長平台對於驗證和優化其工藝至關重要。PVA TePla可為客戶提供專業定製化解決方案,以滿足行業獨特的工藝和知識產權需求,從而實現無縫擴展以進行大規模生產。
·靈活性:“SiCN”的設計可采用和更換成熟供應商的標準組件以及定製組件,保證設備可以使用最新的研發成果,實現持續的技術進步。
·可靠生產:“SiCN”係統設計緊湊,自動化程度高,可最大化節約整體運營空間,同時方便維護,可實現可靠的大規模生產。客戶還可整合如加料小車、多種真空泵選項和測量設備等其他部件,進一步提升係統功能。
·高生產效能:晶體生長過程需要具備在超過2,000°C的高溫條件下長時間運行,因此優異的能源效率可以實現更佳的成本效益。“SiCN”采用經驗證的低能耗感應線圈設計,實現高效率的感應加熱,有效降低能耗,優化生產成本。
德國PVA TePla集團已在全球範圍內銷售SiCjingtishengchangxitong,bingyuquanqiulingxiandezhuliutanhuaguichendicailiaogongyingshanggongtongyanfabingweiqitigongchangjingshebei,qishebeiwendingxinghechanpinzhiliangyizhixing,zaidachicuntanhuaguicailiaodeyanfaguochengzhongqidaoleguanjianzuoyong。
建立中國供應鏈與本土化配套服務
目前,德國PVA TePla集團已在中國建立生產基地、yanshizhongxinjigongyinglianzhongxin,zhizaijianggaoduanshebeiguochanhua,yigenghaodizhulizhongguobandaotichanyetishenghefazhan,tebieshitanhuaguijingtihedachicundanjingguipiandeshengchan。tongshi,weiletiehebentushichangxuqiu,deguoPVA TePla集團也在進一步完善本地團隊技術服務,加強與下遊合作夥伴的研發合作,並且提供更加專業化、定製化的本地支持,幫助合作夥伴更加便捷、快速的實現大規模生產能力。
隨著中國成為全球碳化矽的重要生產基地,德國PVA TePla集團將持續深耕中國市場,加強本土化生產供應與配套服務能力,深化本地創新研發合作,助力中國半導體產業高質量發展。
關於德國PVA TePla集團(德國普發拓普)
德國PVA TePla集團是全球領先的材料和測量測試技術領域高科技解決方案供應商。憑借廣泛的創新產品、工藝和服務組合,PVA TePla支持客戶克服許多不同行業的苛刻挑戰。作為係統供應商,PVA TePla為材料加工、精煉生產、複雜工藝提供可靠保障。從概念到加工,PVA TePla為半導體材料、晶體、光學元件和其他高科技材料的生產提供係統和解決方案。在測量測試領域,PVA TePla也針對廣泛應用提供高精度測量和分析設備,包括從表麵檢測到3D檢測,從而有助於質量控製,過程監控和缺陷分析。通過這些方案和服務,PVA TePla支持客戶提高產品質量,優化生產流程,增強其在市場上的競爭力。
關於普發半導體設備(西安)有限公司
普發半導體設備(西安)有限公司是德國PVA集團在西安設立的擁有獨立法人資格的全資子公司,主要經營和生產製造半導體設備,及其相關的售後服務、技術谘詢、安裝調試等業務。
作為實現德國PVA集團中國布局的戰略平台,西安普發半導體將為集團公司實現設備零部件的國內采購、加工製造、安(an)裝(zhuang)調(tiao)試(shi)提(ti)供(gong)本(ben)地(di)支(zhi)持(chi),致(zhi)力(li)於(yu)實(shi)現(xian)高(gao)端(duan)設(she)備(bei)國(guo)產(chan)化(hua),服(fu)務(wu)於(yu)中(zhong)國(guo)半(ban)導(dao)體(ti)材(cai)料(liao)市(shi)場(chang),為(wei)中(zhong)國(guo)半(ban)導(dao)體(ti)和(he)集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)產(chan)業(ye)實(shi)現(xian)原(yuan)材(cai)料(liao)的(de)技(ji)術(shu)突(tu)圍(wei)提(ti)供(gong)強(qiang)有(you)力(li)的(de)支(zhi)持(chi)。
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