流量傳感器的檢測原理

 

通過給MEMS芯xin片pian加jia恒heng定ding電dian流liu，使shi芯xin片pian中zhong央yang的de加jia熱re器qi產chan生sheng熱re量liang。沒mei有you風feng通tong過guo時shi
，加jia熱re器qi上shang遊you熱re電dian堆dui和he下xia遊you熱re電dian堆dui由you於yu熱re平ping衡heng的de關guan係xi，兩liang者zhe對dui應ying的de熱re電dian動dong勢shi電dian壓ya相xiang等deng
，即jiVu=Vd。當有氣體流動時，熱源隨氣流方向向下遊轉移，此時下遊熱電堆的電動勢變大，即Vd＞Vu。兩(liang)個(ge)熱(re)電(dian)堆(dui)的(de)輸(shu)出(chu)差(cha)大(da)致(zhi)與(yu)通(tong)過(guo)傳(chuan)感(gan)器(qi)表(biao)麵(mian)的(de)氣(qi)體(ti)質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)的(de)平(ping)方(fang)根(gen)成(cheng)正(zheng)比(bi)。輸(shu)出(chu)靈(ling)敏(min)度(du)和(he)質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)取(qu)決(jue)於(yu)氣(qi)體(ti)的(de)組(zu)成(cheng)比(bi)。微(wei)小(xiao)的(de)信(xin)號(hao)可(ke)以(yi)通(tong)過(guo)放(fang)大(da)電(dian)路(lu)進(jin)行(xing)放(fang)大(da)，再(zai)以(yi)電(dian)子(zi)方(fang)式(shi)檢(jian)測(ce)氣(qi)體(ti)流(liu)量(liang)。風(feng)量(liang)傳(chuan)感(gan)器(qi)經(jing)調(tiao)整(zheng)後(hou)輸(shu)出(chu)的(de)電(dian)壓(ya)與(yu)質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)為(wei)25°C、101.3kPa時的流速相當。

 

 

流量傳感器的應用

堵塞檢測---投影儀、PC機、服務器

燃燒控製---燃料電池、熱水器、鍋爐

風量檢測---管道
、氣流測量、空調

加料速率控製---麻醉儀、製氧機