MEMS傳感器典型應用如下圖：

 

 

在智能手機上
，MEMS傳感器提供在聲音性能
、場景切換、手勢識別、方向定位、以及溫度/壓力/濕度傳感器等廣泛的應用；在汽車上，MEMS傳感器借助氣囊碰撞傳感器、胎壓監測係統（TPMS）和車輛穩定性控製增強車輛的性能

；醫療領域，通過MEMS傳感器研成功製出微型胰島素注射泵，並使心髒搭橋移植和人工細胞組織成為現實中可實際使用的治療方式；在可穿戴應用中
，MEMS傳感器可實現運動追蹤、心跳速率測量等。

 

 

 

汽車電子產業被認為是MEMS傳感器的第一波應用高潮的推動者
，MEMS傳感器在汽車上應用的快速發展主要是受益於各國政府全麵推出汽車安全規定（比如要求所有汽車采用TPMS係統）和汽車智慧化的發展趨勢。

 

全球平均每輛汽車包含10個傳感器
，在高檔汽車中，大約采用25至40隻MEMS傳感器，車越好
，所用的MEMS就越多，BMW740i汽車上就有70多隻MEMS。

 

MEMS傳感器可滿足汽車環境苛刻、可靠性高

、精度準確

、成本低的要求。其應用方向和市場需求包括車輛的防抱死係統（ABS）


、電子車身穩定程序（ESP）、電控懸掛（ECS）、電動手刹（EPB）、斜坡起動輔助（HAS）、胎壓監控（EPMS）、引擎防抖、車輛傾角計量和車內心跳檢測等等。

 

 

目前，壓力傳感器、加速度計
、陀螺儀與流量傳感器四類器件合計占汽車MEMS係統的99%。

 

 

MEMS壓力傳感器是汽車中應用最多的傳感器， 至少18個汽車應用領域促進壓力傳感器的增長，包括：輪(lun)胎(tai)壓(ya)力(li)
，電(dian)子(zi)穩(wen)定(ding)控(kong)製(zhi)係(xi)統(tong)中(zhong)的(de)刹(sha)車(che)傳(chuan)感(gan)器(qi)，側(ce)麵(mian)氣(qi)囊(nang)，與(yu)日(ri)益(yi)嚴(yan)格(ge)的(de)排(pai)放(fang)標(biao)準(zhun)相(xiang)關(guan)的(de)引(yin)擎(qing)控(kong)製(zhi)，大(da)氣(qi)壓(ya)力(li)與(yu)廢(fei)氣(qi)再(zai)循(xun)環(huan)壓(ya)力(li)。這(zhe)種(zhong)傳(chuan)感(gan)器(qi)用(yong)單(dan)晶(jing)矽(gui)作(zuo)材(cai)料(liao)，以(yi)采(cai)用(yong)MEMS技(ji)術(shu)在(zai)材(cai)料(liao)中(zhong)間(jian)製(zhi)作(zuo)成(cheng)力(li)敏(min)膜(mo)片(pian)，然(ran)後(hou)在(zai)膜(mo)片(pian)上(shang)擴(kuo)散(san)雜(za)質(zhi)形(xing)成(cheng)四(si)隻(zhi)應(ying)變(bian)電(dian)阻(zu)，再(zai)以(yi)惠(hui)斯(si)頓(dun)電(dian)橋(qiao)方(fang)式(shi)將(jiang)應(ying)變(bian)電(dian)阻(zu)連(lian)接(jie)成(cheng)電(dian)路(lu)，來(lai)獲(huo)得(de)高(gao)靈(ling)敏(min)度(du)。車(che)用(yong)MEMS壓力傳感器有電容式
、壓阻式、差動變壓器式、聲表麵波式等幾種常見的形式。

 

 

MEMSjiasudujideyuanlishijiyuniudundejingdianlixuedinglv
，tongchangyouxuanguaxitonghejiancezhiliangzucheng

，tongguoweiguizhiliangkuaidepianyishixianduijiasududejiance，zhuyaoyongyuqicheanquanqinangxitong、防滑係統
、汽車導航係統和防盜係統等，除了有電容式、壓阻式以外，MEMS加速度計還有壓電式、隧道電流型
、諧振式和熱電偶式等形式。其中
，電容式MEMS加速度計具有靈敏度高、受溫度影響極小等特點，是MEMS微加速度計中的主流產品。

 

 

微陀螺儀是一種角速率傳感器，主要用於汽車導航的GPS信號補償和汽車底盤控製係統，主要有振動式
、轉子式等幾種。應用最多的屬於振動陀螺儀，它利用單晶矽或多晶矽的振動質量塊在被基座帶動旋轉時產生的哥氏效應來感測角速度。

 

liruqichezaizhuanwanshi
，xitongtongguotuoluoyiceliangjiaosudulaizhishifangxiangpandezhuandongshifoudaowei，zhudongzaineicehuozhewaicechelunshangjiashangshidangdezhidongyifangzhiqichetuolichedao，tongchang，tayudijiasudujiyiqigouchengzhudongkongzhixitong。

 

 

MEMS流量傳感器是基於傳統的熱膜片風力計原理借助先進的薄膜片技術，將性能穩定的薄膜片電阻加工到一片薄膜上。由於采用了MEMS加工，因此一方麵縮短了傳感器響應時間，另一方麵由於采用了前後橋電路，可以判斷出流體流向，從而進一步測量出回流流量。

 

為wei了le防fang止zhi溫wen度du變bian化hua對dui測ce量liang精jing度du的de影ying響xiang
，傳chuan感gan器qi中zhong采cai用yong了le兩liang片pian熱re敏min電dian阻zu分fen別bie對dui前qian後hou橋qiao進jin行xing了le溫wen度du補bu償chang。流liu量liang傳chuan感gan器qi主zhu要yao用yong於yu檢jian測ce發fa動dong機ji的de空kong氣qi進jin氣qi量liang和he燃ran油you噴pen射she量liang，從cong而er將jiang空kong燃ran比bi控kong製zhi在zai最zui佳jia值zhi附fu近jin，此ci外wai流liu量liang傳chuan感gan器qi還hai廣guang泛fan利li用yong於yu排pai氣qi再zai循xun環huan、防滑驅動、刹車防抱死係統以及電控懸架等許多方麵。

 

按銷售額計算
，最大的五種汽車MEMS應用按降序排名是：ESC，安全氣囊，進氣歧管絕對壓力（MAP）

，TPMS與翻滾探測。

 

 

隨著消費電子領域大發展及產品創新不斷湧現，特別是受益於智能手機和平板電板的快速發展，消費電子已經取代汽車領域成為MEMS最大的應用市場。其中手機和平板電腦中的MEMS傳感器幾乎占了消費類電子MEMS傳感器類市場的90%。

 

MEMS傳感器在消費電子領域的應用包括運動/墜落檢測、導航數據補償
、遊戲/人機界麵、電源管理、GPS增強/盲區消除、速度/距離計數等等，這些MEMS技術都在很大程度上提高了用戶體驗。

 

終端設備內的硬盤驅動器墜落保護 是MEMSyundongchuanganqizaixiaofeidianzishichangdejuyouzhongyaolishiyiyidedaibiaoxingyingyongzhiyi。shoutidiannaoneidesanzhoujiasujikeyijiancejiasudu，yinweijuyoutedingdegongnengheshujuchulidianlu，tanenggoujiancedaoyingpanqudongqideyiwaishuailuoshigu，bingjishiminglingduxietousuohuidaoanquanweizhi，yifangdiannaozuizhongshuailuozaidibanshangshisunhuaiduxietou。

 

 

是MEMS在消費類產品中最大的應用領域。包含MEMS麥克風、3D加速器
、RF被動與主動組件、相機穩定與GPS的陀螺儀
、小型燃料電池與生化芯片等，應用最多的傳感器是加速計、陀螺儀與MEMS矽麥克風，其中加速度計是該市場中第一大應用產品。而近期陀螺儀增長迅速，已經成為繼加速度計後的第二大應用產品。

 

MEMS麥克風銷售額2015年已經突破10億美元
，美國IHS全球產業研究報告表示全球MEMS麥克風市場仍將連續5年維持18%的年複合成長率（CAGR）。還有一些MEMS傳感器或剛進入市場的，例如磁力計、指紋傳感器、環境傳感器、MEMS手機攝像頭等。而MEMS傳感器在手機應用的數量規模以及多樣性
，也仍不斷在快速成長當中。

 

蘋果（Apple）公司於2007年首度將微機電係統（MEMS）加速度計應用在iPhone中
，開啟手機產業的傳感器革命。iPhone6 Plus就使用了加速度計
、陀螺儀、電子羅盤、氣壓計
、指紋傳感器、接近與環境光傳感器、MEMS麥克風和Image Sensor等MEMS傳感器。截至目前為止，Apple公司已擁有超過三百五十篇以上與傳感器相關的發明專利，而申請內容包括觸控、影像、運動、振動感測、數據運算、掉落感知及亮度感知等等。

 

 

 

是運動跟蹤和手勢識別應用的突出代表
，以具有革命性的任天堂Wii遊戲機為例， 采用了MEMSsanzhoujiasuduji
，nenggoubuzhuodaowanjiarenhexiweidedongzuo
，shiwanjiataozuiyuzhenshideyouxitiyan，tongguobutongdedongzuorongrudaoyouxizhong，liru
，mofangyichangzhenshidewangqiusai、一場引人入勝高爾夫球賽、一場緊張的拳擊賽或輕鬆的釣魚比賽的動作。

 

高能效低價微型MEMS傳感器徹底改變了人們與移動終端設備的互動方式。在各類移動終端、遊戲機
、遙控器等設備上，MEMS傳感器可以實現先進的功能，令人心動的用戶界麵
，用戶的手勢
、碰摸就能夠激活相應的功能。為消費電子產品的“”升級、換代”劃成一個裏程碑式的注腳。

 

 

是目前最熱門的新興產品，其所使用的感測組件，無論在尺寸
、耗電量、感測靈敏度或是組件可靠度上
，通常皆須麵對更嚴苛的要求。最成功的組件案例是慣性傳感器與MEMS麥克風
，包括Google、Apple、微軟（Microsoft）、摩托羅拉（Motorola）等多家知名大廠
，皆已將此兩組件整合在自家的穿戴裝置產品內，成為其傳感器標準配備。

 

智能穿戴裝置兩大功能項目在於量化生活（QuanTIfied Self）及隨身環境安全監測。其所需感測功能大致可包括活動感知、影像感測、環境感測及生理感測四大類別。MEMS組件在穿戴裝置上的應用訴求
，是使係統達到微小化
、低功耗
、高性能及多功能整合等目的。

 

健身和健康監測就是MEMS傳感器在智能穿戴裝置中的代表性的應用。計步表或計步器是利用三軸MEMS加jia速su度du傳chuan感gan器qi，在zai特te定ding的de情qing況kuang下xia，計ji步bu器qi的de傳chuan感gan器qi能neng夠gou精jing確que地di測ce定ding在zai步bu行xing和he跑pao步bu過guo程cheng中zhong作zuo用yong在zai係xi統tong上shang的de加jia速su度du，通tong過guo處chu理li加jia速su度du數shu據ju，計ji步bu器qi顯xian示shi用yong戶hu走zou過guo的de步bu數shu和he速su度du，以yi及ji在zai身shen體ti運yun動dong過guo程cheng中zhong所suo消xiao耗hao掉diao的de熱re量liang。

 

 

MEMS傳感器應用在航空航天領域，要求適應在不同的空間環境，包括：真空、電磁輻射
、高能粒子輻射、等離子體、微流星體
、行星大氣
、cichangheyinlichangdeng，yijihangtianqimouxiexitonggongzuoshihuozaikongjianhuanjingzuoyongxiachanshengdeyoudaohuanjing，liru，guidaokongzhituiliqidianhuohetaiyangdianchiyishenzhanyinqidezhendong
、衝擊環境
；航天器上的磁性材料和電流回路在空間磁場中運動產生的感應磁場

；航天器上有機材料逸出物沉積在其他部位造成的分子汙染等。

 

因(yin)此(ci)，航(hang)空(kong)航(hang)天(tian)傳(chuan)感(gan)器(qi)主(zhu)要(yao)有(you)狀(zhuang)態(tai)傳(chuan)感(gan)器(qi)
，環(huan)境(jing)傳(chuan)感(gan)器(qi)之(zhi)分(fen)，前(qian)者(zhe)包(bao)括(kuo)各(ge)種(zhong)活(huo)動(dong)機(ji)件(jian)的(de)即(ji)時(shi)位(wei)置(zhi)傳(chuan)感(gan)器(qi)
，如(ru)襟(jin)

，副(fu)翼(yi)位(wei)置(zhi)，噴(pen)口(kou)大(da)小(xiao)，油(you)門(men)位(wei)置(zhi)，減(jian)速(su)板(ban)位(wei)置(zhi)
，起(qi)落(luo)架(jia)收(shou)放(fang)位(wei)置(zhi)等(deng)，飛(fei)機(ji)狀(zhuang)態(tai)傳(chuan)感(gan)器(qi)，如(ru)迎(ying)角(jiao)，側(ce)滑(hua)角(jiao)傳(chuan)感(gan)器(qi)
，飛(fei)機(ji)姿(zi)態(tai)傳(chuan)感(gan)器(qi)等(deng)，各(ge)種(zhong)參(can)數(shu)如(ru)液(ye)壓(ya)，油(you)壓(ya)，發(fa)動(dong)機(ji)振(zhen)動(dong)量(liang)，滑(hua)油(you)金(jin)屬(shu)屑(xie)，各(ge)種(zhong)消(xiao)耗(hao)品(pin)如(ru)油(you)料(liao)剩(sheng)餘(yu)量(liang)，消(xiao)耗(hao)速(su)度(du)等(deng)
，還(hai)有(you)結(jie)冰(bing)傳(chuan)感(gan)器(qi)
，火(huo)警(jing)傳(chuan)感(gan)器(qi)，極(ji)限(xian)傳(chuan)感(gan)器(qi)，過(guo)載(zai)傳(chuan)感(gan)器(qi)，生(sheng)命(ming)傳(chuan)感(gan)器(qi)以(yi)及(ji)各(ge)種(zhong)多(duo)餘(yu)度(du)係(xi)統(tong)的(de)自(zi)動(dong)轉(zhuan)換(huan)傳(chuan)感(gan)器(qi)。

 

環境傳感器主要有溫度傳感器、濕度傳感器、氧氣傳感器、壓力傳感器、流量傳感器等。

 

MEMS傳感器在航空航天領域中主要有五種用途：

 

①提供有關航天器的工作信息，起故障診斷的作用;

 

②判斷各分係統間工作的協調性，驗證設計方案;

 

③提供全係統自檢所需信息
，給指揮員決策提供依據;

 

④提供各分係統、整機內部檢測參數

，驗證設計的正確性。

 

⑤監測飛行器內外部的環境，為飛行員航天員提供所需的生存條件，保障正常飛行參數。

 

 

MEMS傳感器在飛行器中的電子設備、feixingqishejijiweixiaoweixingdengjishufangmiandouyouzhongyaodeyingyong。jizaifenbushidaqishujujisuanji，youquanyayijingyayigongjiaoweiyitideduogongnengweixingdaqishujutantou（或稱組合式空速管）
、微型壓力傳感器（靜壓、差壓及動壓）以及信號處理單元直接組成，並封裝在殼體內，形成一個微機電係統。

 

 

微型慣性導航係統集微陀螺
、微加速度計及其信號處理單元為一體，該係統以矽材料為主，用MEMS加工工藝製造而成，其體積和質量比常規慣性導航係統至少下降2一3個數量級。

 

采用MEMS技術製造的微型慣性測量單元（MIMU），沒有轉動的部件，在壽命
、可靠性、成本、體積和質量等方麵都要大大優於常規的慣性儀表。所生產出來的標準化的、高性能航天器姿態測量儀器性能更好，價格更便宜，而且在航空航天平台均能使用。采用MIMU器件可使裝置的重量大大減輕。

 

 

加速度傳感器在航空航天應用在姿態航向基準係統;捷聯慣性測量單元;飛機導航係統;飛行控製係統;包括顫振測試在內的飛行期間結構測試;健康係統測試;穩定性測試;地麵振動測試（風洞試驗）;模態測試;發動機控製係統、製導係統等。

 

 

這zhe種zhong類lei似si於yu電dian子zi鼻bi的de高gao溫wen傳chuan感gan器qi陣zhen列lie是shi用yong於yu檢jian測ce和he控kong製zhi航hang空kong和he汽qi車che發fa動dong機ji的de排pai放fang物wu質zhi。通tong過guo分fen析xi電dian子zi鼻bi產chan生sheng的de信xin號hao確que定ding排pai放fang係xi統tong廢fei氣qi的de成cheng分fen。

 

 

航空航天傳感器在飛行中、飛行試驗
、發動機測試驗、結構強度試驗
、風洞試驗，以及在設備的製造生產過程中應用十分普遍。壓力測量的特點是;被測壓力種類多、涉及範圍廣
，測壓點多

，要求測量精度高。

 

航天航空集當代先進製造技術
、信息技術和材料技術於一身，對傳感器的要求越來越高
，MEMS傳感器發展方向是多功能化、小型化、智能化、集成化
，隨著產品可靠性進一步提高和價格降低，製作技術發展的不斷成熟和完善
，MEMS傳感器在航空航天領域的應用將會在更廣泛範圍取代傳統傳感器。

 

 

MEMS傳chuan感gan器qi技ji術shu的de突tu破po也ye為wei醫yi療liao應ying用yong帶dai來lai前qian所suo未wei有you的de便bian利li性xing和he體ti驗yan。隨sui著zhe人ren口kou的de老lao齡ling化hua，人ren們men的de醫yi療liao保bao健jian問wen題ti變bian的de空kong前qian重zhong要yao。人ren們men的de醫yi療liao保bao健jian問wen題ti變bian的de空kong前qian重zhong要yao。體ti外wai診zhen斷duan

、藥物研究、病患監測、給藥方式以及植入式醫療器械等領域都在不斷發展，係統集成商們需要創新的技術來迅速提高產品性能、降低產品成本、縮小產品尺寸。

 

 

生物MEMS技術為所有這些領域帶來改進了傳感和執行功能的微型器件
，如加速度傳感器
、壓力傳感器、流量傳感器以及微泵。

 

 

應用在醫學中被稱為醫用測壓傳感器，它們都必須高度精確並緊湊包裝，以方便攜帶，特別是器械要與病人直接連接時。

 

現在將小型測壓傳感器應用到容易發生人為錯誤的領域，如：用yong於yu給gei藥yao的de輸shu液ye泵beng。這zhe種zhong傳chuan感gan器qi可ke準zhun確que測ce量liang輸shu液ye袋dai的de重zhong量liang，當dang液ye體ti重zhong量liang與yu預yu先xian設she定ding值zhi不bu同tong時shi，傳chuan感gan器qi會hui立li即ji向xiang連lian接jie的de設she備bei發fa出chu警jing告gao信xin息xi，並bing及ji時shi跟gen控kong製zhi器qi通tong信xin。

 

ceyachuanganqidehexinbujianshiboyingbianji，caiyongzhenkongchenjihuojianshejishu，tongguocailiaodefenzijianhefuzhezaijiediancengshang，zhezhongjishutongchangchengweibomofa。lixiangdeyingbianjiyinggaitijixiao，chengbendi，duiyufuhefangxiangshangdeyingbianjiweilingmin，erqiebushouzhouweihuanjingwendubianhuadeyingxiang。

 

 

 

應當體積小，重量輕
，並且和身體兼容，同時還要求其功率非常小。更重要的是，它們不能隨著時間的推移而衰變。

 

由於這類傳感器屬於第Ⅲ類醫療器械，因此需要有食品及藥物管理局（FDA）的de批pi準zhun才cai能neng使shi用yong。一yi般ban來lai講jiang，這zhe類lei傳chuan感gan器qi價jia格ge非fei常chang昂ang貴gui，而er且qie需xu要yao專zhuan家jia做zuo外wai科ke手shou術shu進jin行xing移yi植zhi。對dui功gong率lv的de要yao求qiu是shi植zhi入ru式shi傳chuan感gan器qi正zheng常chang工gong作zuo所suo麵mian臨lin的de主zhu要yao挑tiao戰zhan之zhi一yi。不bu需xu要yao功gong率lv就jiu能neng發fa揮hui作zuo用yong的de傳chuan感gan器qi是shi最zui完wan美mei的de。

 

 

tijixiao，kekaoxinggao
，buxuyaowaibudonglierqienengchangshijianchixugongzuo。zheleichuanganqikeyingyongyujianshibingrenhuodongdexinzangqiboqi，tongguozhirushichuanganqikeyishishijiancexinlvbianhua。jugelizi，youyufubuchangleyigedadongmailiu
，yaoqiuqiechuyibufencuiruodedongmai，yongrengonghechengdeguanzhuangqiguanlaitidai。zheshi，keyizaishoushudeguochengzhongzhiruyigechuanganqi，yonglaijianshishoushubuweideyalixielou。

 

 

每mei當dang病bing人ren運yun動dong時shi
，傳chuan感gan器qi就jiu會hui產chan生sheng一yi個ge信xin號hao。心xin髒zang起qi搏bo器qi接jie收shou到dao這zhe些xie信xin號hao

，然ran後hou使shi心xin髒zang也ye相xiang應ying的de博bo動dong。如ru果guo病bing人ren在zai休xiu息xi，信xin號hao為wei零ling，則ze心xin髒zang起qi搏bo器qi會hui使shi心xin髒zang以yi正zheng常chang頻pin率lv博bo動dong
，例li如ru大da約yue70次/分鍾。傳感器能區分出各種活動，例如走路、跑步
、或是其他身體活動。傳感器的輸出和運動量成正比。

 

 

提出一種無創胎心檢測方法，研製出一種簡單易學、直觀準確的介於胎心聽診器和多普勒胎兒監護儀之間的臨床診斷和孕婦自檢的醫療輔助儀器。

 

通(tong)過(guo)加(jia)速(su)度(du)傳(chuan)感(gan)器(qi)將(jiang)胎(tai)兒(er)心(xin)率(lv)轉(zhuan)換(huan)成(cheng)模(mo)擬(ni)電(dian)壓(ya)信(xin)號(hao)，經(jing)前(qian)置(zhi)放(fang)大(da)用(yong)的(de)儀(yi)器(qi)放(fang)大(da)器(qi)實(shi)現(xian)差(cha)值(zhi)放(fang)大(da)。然(ran)後(hou)進(jin)行(xing)濾(lv)波(bo)等(deng)一(yi)係(xi)列(lie)中(zhong)間(jian)信(xin)號(hao)處(chu)理(li)
，用(yong)A/D轉換器將模擬電壓信號轉換成數字信號。通過光隔離器件輸入到單片機進行分析處理
，最後輸出處理結果。

 

基於MEMS加(jia)速(su)度(du)傳(chuan)感(gan)器(qi)設(she)計(ji)的(de)胎(tai)兒(er)心(xin)率(lv)檢(jian)測(ce)儀(yi)在(zai)適(shi)當(dang)改(gai)進(jin)後(hou)能(neng)夠(gou)以(yi)此(ci)為(wei)終(zhong)端(duan)
，做(zuo)一(yi)個(ge)遠(yuan)程(cheng)胎(tai)心(xin)監(jian)護(hu)係(xi)統(tong)。醫(yi)院(yuan)端(duan)的(de)中(zhong)央(yang)信(xin)號(hao)采(cai)集(ji)分(fen)析(xi)監(jian)護(hu)主(zhu)機(ji)給(gei)出(chu)自(zi)動(dong)分(fen)析(xi)結(jie) 果
，醫生對該結果進行診斷，如果有問題及時通知孕婦到醫院來。該技術有利於孕婦隨時檢查胎兒的狀況，保障胎兒和孕婦的健康。

 

 

對生物物質敏感並將其濃度轉換為電信號進行檢測
，它是由固定化的生物敏感材料做識別元件（包括酶
、抗體
、抗原、微生物
、細胞、組織、核酸等生物活性物質）與適當的理化換能器（如氧電極、光敏管、場效應管、壓電晶體等）及信號放大裝置構成的分析工具。

 

在(zai)臨(lin)床(chuang)醫(yi)學(xue)中(zhong)

，酶(mei)電(dian)極(ji)是(shi)最(zui)早(zao)研(yan)製(zhi)且(qie)應(ying)用(yong)最(zui)多(duo)的(de)一(yi)種(zhong)傳(chuan)感(gan)器(qi)。利(li)用(yong)具(ju)有(you)不(bu)同(tong)生(sheng)物(wu)特(te)性(xing)的(de)微(wei)生(sheng)物(wu)代(dai)替(ti)酶(mei)
，可(ke)製(zhi)成(cheng)微(wei)生(sheng)物(wu)傳(chuan)感(gan)器(qi)。生(sheng)物(wu)傳(chuan)感(gan)器(qi)已(yi)應(ying)用(yong)於(yu)監(jian)測(ce)多(duo)種(zhong)細(xi)菌(jun)、病毒及其毒素。藥物分析用生物傳感器的典型代表產品是 SPR生物傳感器
，這是一種表麵膜共振分析，是實時測定生物分子結合的技術。

 

最常見的用於生物傳感：基於抗體-抗原的相互作用，核酸相互作用， 酶的相互作用，細胞相互作用，使用仿生材料的相互作用。

 

隨著醫療技術的發達
，越來越多的醫療保健應用使用MEMS器件，並由此帶來市場強勁增長！

本文來源於傳感器技術。