國產MEMS壓力傳感器角力高端應用市場
發布時間:2011-04-08
機遇與挑戰:
suizheceliangjishudefeisufazhan,duichuanganqitichulegenggaodeyaoqiu,youqizaigaojingdudeliutidonglixueceshizhong,yaoqiuchuanganqijuyoulianghaodedongtaitexing。weilebuyingxiangliuchangzhuangtai,tigaoceliangdejingdu,haixuyalichuanganqijuyoujixiaohejibodewaixing,chuanganqidechicunjianquxiaoxinghua。jinershinianlai,yalichuanganqixingyemingxianjiakuaileyazushitidaitaotaiyingbianshi、厚膜陶瓷式壓力傳感器的步伐,MEMS(Micro electronic mechanical systems微機電係統)技術逐步成為產業化技術主流。
受自身技術條件限製, 國內大多數壓力傳感器企業多把國內外產矽MEMS OEM產(chan)品(pin)作(zuo)為(wei)壓(ya)力(li)傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)關(guan)鍵(jian)部(bu)件(jian),組(zu)裝(zhuang)後(hou)再(zai)行(xing)銷(xiao)售(shou),進(jin)入(ru)行(xing)業(ye)的(de)門(men)檻(kan)較(jiao)低(di),資(zi)金(jin)運(yun)轉(zhuan)快(kuai)。但(dan)對(dui)有(you)高(gao)難(nan)度(du)要(yao)求(qiu)的(de)高(gao)檔(dang)傳(chuan)感(gan)器(qi),企(qi)業(ye)既(ji)買(mai)不(bu)到(dao)相(xiang)應(ying)的(de)矽(gui)MEMS OEM產(chan)品(pin),又(you)不(bu)具(ju)備(bei)相(xiang)應(ying)設(she)計(ji)與(yu)特(te)殊(shu)製(zhi)作(zuo)技(ji)術(shu),因(yin)此(ci)基(ji)本(ben)無(wu)法(fa)進(jin)入(ru)這(zhe)一(yi)細(xi)分(fen)市(shi)場(chang)。昆(kun)山(shan)雙(shuang)橋(qiao)傳(chuan)感(gan)器(qi)測(ce)控(kong)技(ji)術(shu)有(you)限(xian)公(gong)司(si)充(chong)分(fen)利(li)用(yong)其(qi)技(ji)術(shu)積(ji)累(lei),從(cong)核(he)心(xin)元(yuan)件(jian)關(guan)鍵(jian)技(ji)術(shu)做(zuo)起(qi),基(ji)於(yu)MEMS微機械加工技術,自行研製的微型動態壓阻壓力傳感器能確保力敏矽膜片有效尺寸更小,固有頻率更高;此ci外wai,利li用yong矽gui優you良liang的de彈dan性xing力li學xue特te性xing,尤you其qi是shi極ji高gao的de楊yang氏shi彈dan性xing模mo量liang,加jia之zhi低di的de電dian橋qiao內nei阻zu抗kang,不bu僅jin利li於yu獲huo得de高gao頻pin響xiang,而er且qie有you低di至zhi亞ya微wei秒miao的de上shang升sheng時shi間jian及ji非fei常chang幹gan淨jing的de幅fu頻pin特te性xing曲qu線xian,可ke廣guang泛fan應ying用yong於yu要yao求qiu傳chuan感gan器qi尺chi寸cun小xiao、對測試流場影響小、動態特性好的空氣動力學研究、風洞測控試驗等高端應用領域。微型壓力傳感器產品在雙橋傳感器公司已形成係列化,主要產品有Ф2mm、Ф3mm、Ф5mm、Ф8mm,涵蓋了對水、氣、油等多種介質的測量。該產品因技術領先性已經榮獲2010年度中國電子學會電子信息科學技術獎三等獎。
汽車電子、新型數字消費電子和醫療電子等產業的快速發展,對MEMS傳感器的各種新需求和基於該技術的創新不斷湧現,MEMS傳感器的市場機會逐步顯現。昆山雙橋傳感器測控技術有限公司的基於MEMS技術的汽車壓力傳感器已批量應用於汽車電子產業。
- 壓力傳感器行業加快了壓阻式替代步伐
- MEMS技術逐步成為產業化技術主流
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受自身技術條件限製, 國內大多數壓力傳感器企業多把國內外產矽MEMS OEM產(chan)品(pin)作(zuo)為(wei)壓(ya)力(li)傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)關(guan)鍵(jian)部(bu)件(jian),組(zu)裝(zhuang)後(hou)再(zai)行(xing)銷(xiao)售(shou),進(jin)入(ru)行(xing)業(ye)的(de)門(men)檻(kan)較(jiao)低(di),資(zi)金(jin)運(yun)轉(zhuan)快(kuai)。但(dan)對(dui)有(you)高(gao)難(nan)度(du)要(yao)求(qiu)的(de)高(gao)檔(dang)傳(chuan)感(gan)器(qi),企(qi)業(ye)既(ji)買(mai)不(bu)到(dao)相(xiang)應(ying)的(de)矽(gui)MEMS OEM產(chan)品(pin),又(you)不(bu)具(ju)備(bei)相(xiang)應(ying)設(she)計(ji)與(yu)特(te)殊(shu)製(zhi)作(zuo)技(ji)術(shu),因(yin)此(ci)基(ji)本(ben)無(wu)法(fa)進(jin)入(ru)這(zhe)一(yi)細(xi)分(fen)市(shi)場(chang)。昆(kun)山(shan)雙(shuang)橋(qiao)傳(chuan)感(gan)器(qi)測(ce)控(kong)技(ji)術(shu)有(you)限(xian)公(gong)司(si)充(chong)分(fen)利(li)用(yong)其(qi)技(ji)術(shu)積(ji)累(lei),從(cong)核(he)心(xin)元(yuan)件(jian)關(guan)鍵(jian)技(ji)術(shu)做(zuo)起(qi),基(ji)於(yu)MEMS微機械加工技術,自行研製的微型動態壓阻壓力傳感器能確保力敏矽膜片有效尺寸更小,固有頻率更高;此ci外wai,利li用yong矽gui優you良liang的de彈dan性xing力li學xue特te性xing,尤you其qi是shi極ji高gao的de楊yang氏shi彈dan性xing模mo量liang,加jia之zhi低di的de電dian橋qiao內nei阻zu抗kang,不bu僅jin利li於yu獲huo得de高gao頻pin響xiang,而er且qie有you低di至zhi亞ya微wei秒miao的de上shang升sheng時shi間jian及ji非fei常chang幹gan淨jing的de幅fu頻pin特te性xing曲qu線xian,可ke廣guang泛fan應ying用yong於yu要yao求qiu傳chuan感gan器qi尺chi寸cun小xiao、對測試流場影響小、動態特性好的空氣動力學研究、風洞測控試驗等高端應用領域。微型壓力傳感器產品在雙橋傳感器公司已形成係列化,主要產品有Ф2mm、Ф3mm、Ф5mm、Ф8mm,涵蓋了對水、氣、油等多種介質的測量。該產品因技術領先性已經榮獲2010年度中國電子學會電子信息科學技術獎三等獎。
汽車電子、新型數字消費電子和醫療電子等產業的快速發展,對MEMS傳感器的各種新需求和基於該技術的創新不斷湧現,MEMS傳感器的市場機會逐步顯現。昆山雙橋傳感器測控技術有限公司的基於MEMS技術的汽車壓力傳感器已批量應用於汽車電子產業。
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