【導讀】海洋光學（Ocean Optics）長期以來一直為半導體工藝設備供應商的新材料研究提供強大支持，同時協助用戶克服等離子刻蝕
、沉積
、塗(tu)層(ceng)和(he)清(qing)潔(jie)等(deng)方(fang)麵(mian)的(de)困(kun)難(nan)和(he)挑(tiao)戰(zhan)。海(hai)洋(yang)光(guang)學(xue)的(de)光(guang)譜(pu)儀(yi)，基(ji)於(yu)光(guang)學(xue)發(fa)射(she)光(guang)譜(pu)技(ji)術(shu)，被(bei)廣(guang)泛(fan)應(ying)用(yong)於(yu)等(deng)離(li)子(zi)體(ti)監(jian)測(ce)，並(bing)在(zai)刻(ke)蝕(shi)終(zhong)點(dian)檢(jian)測(ce)方(fang)麵(mian)表(biao)現(xian)出(chu)色(se)。

海洋光學（Ocean Optics）長期以來一直為半導體工藝設備供應商的新材料研究提供強大支持，同時協助用戶克服等離子刻蝕、沉積
、塗(tu)層(ceng)和(he)清(qing)潔(jie)等(deng)方(fang)麵(mian)的(de)困(kun)難(nan)和(he)挑(tiao)戰(zhan)。海(hai)洋(yang)光(guang)學(xue)的(de)光(guang)譜(pu)儀(yi)
，基(ji)於(yu)光(guang)學(xue)發(fa)射(she)光(guang)譜(pu)技(ji)術(shu)，被(bei)廣(guang)泛(fan)應(ying)用(yong)於(yu)等(deng)離(li)子(zi)體(ti)監(jian)測(ce)
，並(bing)在(zai)刻(ke)蝕(shi)終(zhong)點(dian)檢(jian)測(ce)方(fang)麵(mian)表(biao)現(xian)出(chu)色(se)。

實驗配置：

實驗采用光學發射光譜（OES）方法，分別使用紫外波段的ST微型光譜儀
、通用型SR4光譜儀以及高分辨率的HR4和HR6光譜儀進行測試。

所有光譜儀均配置了25µm的狹縫，積分時間設定為1秒
，平均次數設置為1
，滑動平均設置在0-1之間。根據具體使用情境
，積分時間分別設定為200ms、400ms或600ms，最後對光譜數據進行了歸一化處理。

我們使用了一種係統，用於進行批量等離子體刻蝕和等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)
，並監測了氧氣和四氟化碳在99 SCCM和50 SCCM的流速下的等離子體情況（SCCM標準立方厘米每分鍾）。氧氣可用於清洗腔內表麵或與其他氣體混合用於蝕刻

，而四氟化碳則用於蝕刻矽、氧化矽、氮化矽等材料。

每個光譜儀都連接一根400µm的光纖，並通過相應的法蘭光纖轉接頭以及工業級附件連接到腔室中，以在50W、200W和400W的功率下進行等離子體檢測。

圖1：所有測量都使用工業標準的等離子體沉積和蝕刻工具。右下角為海洋光學光譜儀。

實驗結果測試所用光譜儀均表現出色，可以根據不同的測試需求選擇合適的光譜儀和配置，包括特定等離子體氣體檢測、光學分辨率要求以及熱穩定性需求（尤其在工藝環境中存在溫度變化較大的情況下）。這為用戶提供了更大的靈活性
，以滿足各種應用場景需求。

測量氧等離子體——50W功率

相比SR和ST，HR4和HR6的響應更好

，光譜峰也更明顯。

SR和ST具有相當的響應，但ST光譜數據呈現出更清晰的峰(如圖2所示)。

圖2：HR係列光譜儀在低功率條件下測量氧等離子體時具有更好的性能。

測量四氟化碳——400W功率

圖3中可以更清楚地看到HR4和HR6光譜儀相較於另外兩個型號的優勢。

HRxilieguangpuyidejincoushejihechusedeguangxuefenbianlv
，shiqinenggoutigonggengjiazhunquedeguangpushuju
，zaidenglizitixiangguanyingyongzhongbiaoxianchuse。yincizaijiangguangxuefasheguangpu（OES）技術應用到等離子體監測過程中，HR係列光譜儀是理想的選擇。

圖3：在測量400W功率（本次實驗中最高功率設置）條件下的四氟化碳等離子體時，HR係列光譜儀在更寬的波長範圍內獲得更好的光譜數據。

在等離子體監測應用中，HR係列光譜儀的另一個顯著優勢是其能夠覆蓋更廣泛的光譜範圍，包括從紫外到短波近紅外波段。

通常，大多數OES係統僅能覆蓋紫外至可見波段
，因為這是關鍵反應發生的波段
，例如氧氣峰值產生或損失的終點檢測。

erzaishijiyingyongchangjingzhong
，jinhongwaiboduandexinhaoyefeichangzhongyao。yinweizaidigonglvtiaojianxia，denglizitixinhaogengduocunzaiyujinhongwaiboduan，caozuoyuankenengwufatouguoshichuangguanchadenglizitidehuiguang。

在這種情況下
，HR光譜儀可以探測到等離子體的近紅外峰，幫助確認等離子體輝光的存在，這是一項非常實用的功能（如圖4所示）。

圖4：即使在低功率設置下的等離子體
，HR6光譜儀在＞700 nm波段也有較強的光譜響應。

總結

光guang譜pu學xue方fang法fa在zai測ce量liang等deng離li子zi體ti發fa射she光guang譜pu和he監jian測ce等deng離li子zi體ti蝕shi刻ke過guo程cheng方fang麵mian被bei證zheng明ming是shi一yi種zhong高gao效xiao的de技ji術shu。通tong過guo結jie合he光guang譜pu硬ying件jian和he技ji術shu，半ban導dao體ti設she備bei供gong應ying商shang能neng夠gou持chi續xu改gai進jin和he完wan善shan其qi蝕shi刻ke過guo程cheng和he技ji術shu。

新一代的海洋光學光譜儀
，特別是HR係列高分辨率光譜儀
，提供了出色的光學測量設備。

海(hai)洋(yang)光(guang)學(xue)的(de)光(guang)學(xue)發(fa)射(she)光(guang)譜(pu)測(ce)量(liang)係(xi)統(tong)和(he)先(xian)進(jin)的(de)數(shu)據(ju)處(chu)理(li)算(suan)法(fa)進(jin)一(yi)步(bu)優(you)化(hua)了(le)刻(ke)蝕(shi)過(guo)程(cheng)，特(te)別(bie)適(shi)用(yong)於(yu)等(deng)離(li)子(zi)體(ti)刻(ke)蝕(shi)過(guo)程(cheng)的(de)監(jian)測(ce)和(he)控(kong)製(zhi)。這(zhe)為(wei)芯(xin)片(pian)設(she)計(ji)和(he)製(zhi)造(zao)領(ling)域(yu)的(de)工(gong)業(ye)客(ke)戶(hu)和(he)集(ji)成(cheng)商(shang)提(ti)供(gong)了(le)優(you)質(zhi)的(de)光(guang)學(xue)解(jie)決(jue)方(fang)案(an)，有(you)助(zhu)於(yu)提(ti)高(gao)生(sheng)產(chan)效(xiao)率(lv)和(he)產(chan)品(pin)質(zhi)量(liang)。

關於海洋光學

作為世界領先的光學解決方案提供商，海洋光學（Ocean Optics）的光譜產品應用於半導體、照明及顯示、工業控製、環境監測
、生命科學生物

、醫藥研究、教育等領域。其產品包括光譜儀、化學傳感器、計量檢測設備、光纖、透鏡等。作為光纖光譜儀的發明者，如今海洋光學在全球已售出超過60萬套的光纖光譜儀。

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