【導讀】村田（Murata）是一家全球性的綜合電子元器件製造商
，主要從事以陶瓷為基礎的電子元器件的開發、生產和銷售業務。2012年
，村田收購芬蘭MEMS傳感器廠商VTI Technologies Oy所有流通在外的股權，將VTI納為旗下子公司行列，以擴大MEMS技術事業版圖
，加強車用以及醫療用傳感器的研發與製造。村田MEMS產品包括加速度計、陀螺儀、磁傳感器
、壓力傳感器等。

村田（Murata）是一家全球性的綜合電子元器件製造商，主要從事以陶瓷為基礎的電子元器件的開發、生產和銷售業務。2012年，村田收購芬蘭MEMS傳感器廠商VTI Technologies Oy所有流通在外的股權
，將VTI納為旗下子公司行列


，以擴大MEMS技術事業版圖，加強車用以及醫療用傳感器的研發與製造。村田MEMS產品包括加速度計
、陀螺儀、磁傳感器

、壓力傳感器等。

據麥姆斯谘詢介紹，SCHA634為村田車規級6軸MEMS慣性測量單元（IMU），可通過與GNSS（全球導航衛星係統）
、攝像頭、毫米波雷達
、激光雷達等各種傳感器的數據融合，實現ADAS（高級駕駛輔助係統）及AD（自動駕駛）gongneng。gaichanpinzailingpianwendingxinghezaoshengfangmianjuyouyoushi
，kemanzuqicheanquanxingyingyongdexingnengxuqiu。cuntianhaiduichuanganqiceliangzhoudezhengjiaoxingjinxingxiaozhun
，shidexitongjichengshangkelveguozheyigaochengbenqieduicaozuojuyougaoyaoqiudechulibuzhou。

IMU是測量物體三軸姿態角（或角速率）以及加速度的裝置。通常，IMU內部集成3軸陀螺儀和3軸加速度計，以及運動/姿態算法。如果IMU內部集成的傳感器采用MEMS技術實現

，那麼可被稱為MEMS IMU。

本報告針對全球熱銷的村田MEMS IMU產品“SCHA634-D01”進行物理分析，包括器件拆解

、芯片剖析及材料分析等
，並推測出MEMS芯片製造工藝和器件封裝工藝。最後，我們檢索並分析了產品專利情況。具體如下：

首先對SCHA634進行光學成像和X射線成像
，獲得整體封裝和引線信息：32引腳小外型集成電路（SOIC）封裝形式

，封裝尺寸為19.71mm x 12.15mm x 4.5mm，封裝內部共有82條引線（Bonding Wire）

，4顆MEMS芯片與2顆ASIC芯片采用3D堆疊方式集成於封裝。

村田MEMS IMU SCHA634封裝尺寸

村田MEMS IMU SCHA634開蓋展示

然後將器件進行機械開封和化學去膠
，並取出其中的6顆芯片進行深入分析，包括ASIC電路層、MEMS襯底層、MEMS結構層

、MEMS蓋帽層、晶圓級封裝及鍵合等，並分別提供MEMS加速度計和MEMS陀螺儀的三軸感測結構及驅動梳齒結構的局部特寫、特征尺寸及重要材料信息。

村田MEMS IMU SCHA634的電路（ASIC）芯片SEM照片

村田MEMS IMU SCHA634的Z軸陀螺儀芯片SEM照片

根據上述4顆MEMS芯片（3種類型：X/Y軸陀螺儀、Z軸陀螺儀和三軸加速度計）的結構剖析及材料分析，繪製出MEMS芯片結構示意圖，並以X/Y軸陀螺儀為例推測出MEMS製造工藝流程。此外，本報告還提供了器件封裝工藝流程。

村田MEMS IMU SCHA634的MEMS芯片工藝流程部分示例

最後對SCHA634chanpinxiangguanzhuanlijinxingjiansuoyufenxi，bingtigongzhuanlidaochanpindeyingsheguanxi
，youzhuyuqitachangshanglijiejishuyaodianjizhuanlibaohufanwei，bingjinxingqinquanguanlianxingfenxi，congerkeyiyouxiaobimianqinquanjiufendefasheng。

村田MEMS IMU SCHA634的加速度計專利映射示例

免責聲明：本文為轉載文章
，轉載此文目的在於傳遞更多信息，版權歸原作者所有。本文所用視頻、圖片、文字如涉及作品版權問題，請聯係小編進行處理。

推薦閱讀：

如何治愈電動單車續航焦慮
？DC/DC轉換器技術有良方

【前沿思維 聚焦創新引領】SEMI-e 峰會邀您共話行業新增長

如何為係留無人機設計高效的模塊化供電網絡

如何利用高能效監控攝像頭 PTZ IC 進行設計以打造更安全的環境

沉浸式體驗官招募中 ，2023寧波照明展觀展福利大放送！