日本福田結晶技術研究所成功試製出了口徑為50mm(2英寸)的ScAlMgO4(SCAM)晶體。設想用於藍色LED元件及藍紫色半導體激光器等GaN類發光元件的基板。與製造藍色LED元件的基板大多使用的藍寶石相比
，SCAM更適合減少GaN類(lei)半(ban)導(dao)體(ti)的(de)結(jie)晶(jing)缺(que)陷(xian)
，因(yin)此(ci)有(you)望(wang)提(ti)高(gao)發(fa)光(guang)元(yuan)件(jian)的(de)亮(liang)度(du)。據(ju)該(gai)研(yan)究(jiu)所(suo)介(jie)紹(shao)，日(ri)本(ben)東(dong)北(bei)大(da)學(xue)金(jin)屬(shu)材(cai)料(liao)研(yan)究(jiu)所(suo)鬆(song)岡(gang)隆(long)誌(zhi)教(jiao)授(shou)的(de)研(yan)究(jiu)小(xiao)組(zu)利(li)用(yong)試(shi)製(zhi)品(pin)層(ceng)疊(die)GaN類半導體設計了LED，證實了該材料的有用性。

 

　　SCAM的特點是與GaN的晶格失配度僅1.8%，不容易產生晶格位錯這種結晶缺陷。雖然以前業內認為很難製作SCAM晶體
，但福田結晶技術研究所采用CZ法試製成功了2英寸的高品質SCAM晶體。據該研究所介紹
，通過改善晶體生長的條件和晶體生長爐的結構

，提高了結晶品質。該研究所劈開試製出的SCAM晶體，利用X射線衍射法評估了其C麵
，結果發現其半幅值為12.9秒，結晶品質跟Si的完全結晶相當。
 

 

　　另外，該研究所不用切割和研磨加工工藝，而是利用SCAM晶體塊通過劈開加工做成了晶圓。此舉可降低晶圓的成本。利用有機金屬化學氣相沉積法使GaN薄膜在1040℃下垂直於SCAM晶體的劈開麵生長
，結果獲得了鏡麵的低位錯晶體。這也是一大成果。

 

　　福田結晶技術研究所今後將設法繼續增大SCAM晶體的口徑，還將對其進行商業化運作。福田結晶技術研究所將於2015年春季開始銷售2英寸的SCAM基板。