不容錯過的大功率LED芯片製作方法
發布時間:2014-02-18 責任編輯:sherryyu
要想得到大功率LED器件,就必須製備合適的大功率LED芯片。國際上通常的製造大功率LED芯片的方法有如下幾種:

①加大尺寸法。通過增大單體LED的有效發光麵積和尺寸,促使流經TCL層ceng的de電dian流liu均jun勻yun分fen布bu,以yi達da到dao預yu期qi的de光guang通tong量liang。但dan是shi,簡jian單dan地di增zeng大da發fa光guang麵mian積ji無wu法fa解jie決jue散san熱re問wen題ti和he出chu光guang問wen題ti,並bing不bu能neng達da到dao預yu期qi的de光guang通tong量liang和he實shi際ji應ying用yong效xiao果guo。
②矽底板倒裝法。首先製備出適合共晶焊接的大尺寸LED芯片,同時製備出相應尺寸的矽底板,並在矽底板上製作出供共晶焊接用的金導電層及引出導電層(超聲金絲球焊點),再利用共晶焊接設備將大尺寸LED芯片與矽底板焊接在一起。這樣的結構較為合理,既考慮了出光問題又考慮到了散熱問題,這是目前主流的大功率LED的生產方式。
美國Lumileds公司於2001年研製出了AlGaInN功率型倒裝芯片(FCLED)結構,其製造流程是:首先在外延片頂部的P型GaN上澱積厚度大於500A的NiAu層,用於歐姆接觸和背反射;再采用掩模選擇刻蝕掉P型層和多量子阱有源層,露出N型層;經澱積、刻蝕形成N型歐姆接觸層,芯片尺寸為1mm×1mm,P型歐姆接觸為正方形,N型歐姆接觸以梳狀插入其中,這樣可縮短電流擴展距離,把擴展電阻降至最小;然後將金屬化凸點的AlGaInN芯片倒裝焊接在具有防靜電保護二極管(ESD)的矽載體上。
③陶瓷底板倒裝法。先利用LED晶片通用設備製備出具有適合共晶焊接電極結構的大出光麵積的LED芯片和相應的陶瓷底板,並在陶瓷底板上製作出共晶焊接導電層及引出導電層,然後利用共晶焊接設備將大尺寸LEDxinpianyutaocidibanhanjiezaiyiqi。zheyangdejiegoujikaolvlechuguangwentiyekaolvdaolesanrewenti,bingqiecaiyongdetaocidibanweigaodaoretaociban,sanrexiaoguofeichanglixiang,jiageyouxiangduijiaodi,suoyiweimuqianjiaoweishiyidedibancailiao,bingkeweijianglaidejichengdianluyitihuafengzhuangyuliukongjian。
④藍寶石襯底過渡法。按照傳統的InGaN芯片製造方法在藍寶石襯底上生長出PN結後,將藍寶石襯底切除,再連接上傳統的四元材料,製造出上下電極結構的大尺寸藍光LED芯片。
⑤AlGaInN碳化矽(SiC)背麵出光法。美國Cree公司是全球唯一采用SiC襯底製造AlGaInN超高亮度LED的廠家,幾年來其生產的AlGaInN/SiCa芯片結構不斷改進,亮度不斷提高。由於P型和N型電極分別位於芯片的底部和頂部,采用單引線鍵合,兼容性較好,使用方便,因而成為AlGaInNLED發展的另一主流產品。
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