中微半導體設備有限公司（簡稱“中微”）宣布獲得韓國先進存儲芯片生產廠商購買Primo SSC AD-RIE™（中微單反應台等離子體刻蝕設備）的重複訂單。該設備被客戶認可為用於16納米關鍵閃存芯片加工的首選設備（PTOR），將用於大批量芯片生產。此前
，中微的Primo SSC AD-RIE™通過客戶生產線上嚴格的驗證，取得了比其他同類競爭產品更加優異的結果。中微現在正在和客戶合作研究開發DRAM和3D NAND工藝。 

 

 

圖1：中微單反應台等離子體刻蝕設備Primo SSC AD-RIE(TM) 

 

中微副總裁兼韓國區總經理尹敬一表示，中微設備成為“PTOR”標誌著中微取得了一項重大進展，他說道：“很(hen)明(ming)顯(xian)

，現(xian)在(zai)處(chu)於(yu)世(shi)界(jie)前(qian)沿(yan)的(de)客(ke)戶(hu)不(bu)單(dan)單(dan)想(xiang)從(cong)供(gong)應(ying)商(shang)那(na)兒(er)尋(xun)找(zhao)新(xin)設(she)備(bei)，他(ta)們(men)還(hai)希(xi)望(wang)能(neng)夠(gou)為(wei)複(fu)雜(za)的(de)生(sheng)產(chan)過(guo)程(cheng)帶(dai)來(lai)的(de)挑(tiao)戰(zhan)尋(xun)求(qiu)全(quan)麵(mian)解(jie)決(jue)方(fang)案(an)。這(zhe)就(jiu)要(yao)求(qiu)先(xian)進(jin)技(ji)術(shu)和(he)相(xiang)關(guan)專(zhuan)業(ye)知(zhi)識(shi)緊(jin)密(mi)聯(lian)係(xi)在(zai)一(yi)起(qi)
，正(zheng)是(shi)依(yi)靠(kao)這(zhe)種(zhong)模(mo)式(shi)，我(wo)們(men)為(wei)該(gai)客(ke)戶(hu)解(jie)決(jue)了(le)生(sheng)產(chan)過(guo)程(cheng)中(zhong)碰(peng)到(dao)的(de)各(ge)種(zhong)問(wen)題(ti)
，使(shi)得(de)客(ke)戶(hu)的(de)閃(shan)存(cun)芯(xin)片(pian)開(kai)發(fa)取(qu)得(de)新(xin)的(de)進(jin)展(zhan)。” 

 

Primo SSC AD-RIE™是中微Primo係列第三代、也是最新一代刻蝕設備產品

，能夠滿足超高產能、優異的芯片加工質量和芯片刻蝕技術可延展性等嚴苛的技術要求。Primo SSC AD-RIE™的晶圓傳遞平台可配置多達6個ge單dan晶jing圓yuan加jia工gong反fan應ying器qi，每mei個ge反fan應ying器qi可ke以yi獨du立li地di設she定ding加jia工gong條tiao件jian
，從cong而er靈ling活huo地di實shi現xian精jing準zhun的de工gong藝yi控kong製zhi。每mei個ge反fan應ying器qi有you極ji高gao的de抽chou速su，並bing有you多duo區qu氣qi體ti分fen布bu、動態射頻功(gong)率(lv)以(yi)及(ji)多(duo)區(qu)溫(wen)度(du)控(kong)製(zhi)等(deng)可(ke)獨(du)立(li)調(tiao)節(jie)的(de)工(gong)藝(yi)參(can)數(shu)。而(er)在(zai)線(xian)工(gong)藝(yi)微(wei)調(tiao)和(he)穩(wen)固(gu)的(de)腔(qiang)體(ti)設(she)計(ji)避(bi)免(mian)了(le)高(gao)深(shen)寬(kuan)比(bi)刻(ke)蝕(shi)工(gong)藝(yi)中(zhong)常(chang)出(chu)現(xian)的(de)刻(ke)蝕(shi)停(ting)止(zhi)現(xian)象(xiang)以(yi)及(ji)工(gong)藝(yi)飄(piao)移(yi)現(xian)象(xiang)的(de)發(fa)生(sheng)
，從(cong)而(er)提(ti)高(gao)刻(ke)蝕(shi)的(de)重(zhong)複(fu)性(xing)並(bing)更(geng)容(rong)易(yi)實(shi)現(xian)反(fan)應(ying)器(qi)之(zhi)間(jian)的(de)良(liang)好(hao)匹(pi)配(pei)，能(neng)夠(gou)大(da)大(da)提(ti)高(gao)生(sheng)產(chan)效(xiao)率(lv)。 

 

中zhong微wei刻ke蝕shi設she備bei的de一yi大da關guan鍵jian優you勢shi在zai於yu它ta的de配pei置zhi極ji具ju靈ling活huo性xing。它ta在zai同tong一yi個ge主zhu機ji係xi統tong上shang可ke以yi配pei備bei雙shuang反fan應ying器qi實shi現xian高gao產chan出chu和he低di成cheng本ben，或huo者zhe也ye可ke以yi配pei備bei單dan反fan應ying器qi以yi滿man足zu關guan鍵jian刻ke蝕shi工gong藝yi中zhong高gao抽chou速su等deng要yao求qiu。這zhe種zhong配pei置zhi的de靈ling活huo性xing還hai體ti現xian在zai氣qi體ti控kong製zhi係xi統tong的de安an裝zhuang上shang，他ta們men既ji可ke以yi置zhi於yu地di麵mian以yi便bian於yu維wei護hu，也ye可ke以yi置zhi於yu設she備bei上shang方fang以yi減jian少shao占zhan地di麵mian積ji。 

 

Primo SSC AD-RIE和Primo D-RIE是中微的注冊商標。