固體鉭電容器生產工藝
發布時間:2010-07-05
中心議題:
電子技術的飛速發展要求芯片高頻化和電路板高密度組裝,推動了低Res、高容量、耐高紋波電流的電容器發展。由於MnO2電阻率較低(0.1Ω?cm),所以傳統的MnO2型鉭電解電容器Res大於100mΩ,致使其高頻性能較差。使用新型陰極材料降低電容器的Res是提高鉭電容器高頻性能的重要途徑之一。PEDT導電聚合物熱穩定性好、電阻率低,因此在電容器上的應用成為目前鉭電解電容器研究領域的熱點。
tongchangcaiyongdianhuaxuefahehuaxuefazaijiezhiyanghuamobiaomianbeifudaodianjuhewu。caiyongdianhuaxuefangfajinxingjuhewudechenjixuyaogaojingdudedianjihesifushebei,erhuaxuejuhefazhibeijuhewuyinjicailiaoduishebeiyaoqiujiaodi,yincigaifangfachengweidianrongqizhizaoshangdeshouxuan。
使shi用yong化hua學xue聚ju合he法fa在zai鉭tan氧yang化hua物wu表biao麵mian被bei覆fu聚ju合he物wu的de工gong藝yi又you可ke細xi分fen為wei一yi步bu法fa和he二er步bu法fa。其qi中zhong一yi步bu法fa是shi浸jin漬zi氧yang化hua劑ji和he單dan體ti預yu混hun合he溶rong液ye來lai完wan成cheng聚ju合he沉chen積ji的de工gong藝yi過guo程cheng,二er步bu法fa是shi先xian浸jin漬zi氧yang化hua劑ji(或單體)後浸漬單體(或氧化劑)來完成聚合物沉積的工藝過程,兩種工藝方法各有優劣。
一yi步bu法fa可ke以yi嚴yan格ge按an照zhao理li想xiang的de化hua學xue反fan應ying計ji量liang配pei製zhi氧yang化hua劑ji和he單dan體ti預yu混hun合he液ye,這zhe樣yang可ke以yi形xing成cheng較jiao理li想xiang的de聚ju合he物wu鏈lian,但dan是shi氧yang化hua劑ji和he單dan體ti混hun合he後hou就jiu開kai始shi進jin行xing聚ju合he反fan應ying。隨sui著zhe混hun合he液ye中zhong單dan體ti和he氧yang化hua劑ji含han量liang的de提ti高gao,聚ju合he反fan應ying速su率lv加jia快kuai,盡jin管guan用yong冷leng卻que方fang法fa並bing加jia入ru適shi量liang的de阻zu聚ju劑ji可ke以yi降jiang低di其qi聚ju合he反fan應ying速su度du,延yan長chang混hun合he液ye的de使shi用yong時shi間jian,但dan混hun合he液ye有you使shi用yong時shi限xian,用yong此ci法fa生sheng產chan成cheng本ben較jiao高gao。
二步法在使用過程中由於材料在鉭芯子上吸附量的差異,造成浸漬的氧化劑或單體無法達到理想的化學計量比[r(PEDT:Fe3+)為2.3~2.5],其qi反fan應ying生sheng成cheng的de聚ju合he物wu鏈lian相xiang對dui較jiao差cha,由you於yu氧yang化hua劑ji和he單dan體ti沒mei有you混hun合he,兩liang者zhe不bu會hui發fa生sheng反fan應ying,所suo以yi溶rong液ye不bu存cun在zai使shi用yong時shi限xian問wen題ti,因yin此ci可ke以yi有you效xiao降jiang低di生sheng產chan成cheng本ben。
筆者重點討論了在用二步法製備聚合物電解質的過程中氧化劑含量、聚合溫度等工藝條件對聚合物鉭電容器電容量C、介質損耗和Res等電參數的影響。
1實驗
試樣采用6.3V/150μF規格的鉭陽極體。選用CV值30k的鉭粉,壓製成尺寸3.3mm×1.4mm×4.3mm,質量為140mg的鉭塊,在真空條件下1350℃,燒結30min,然後將燒結塊浸於60℃、質量分數為0.1%的磷酸溶液中並對其施加30V直流電壓,在鉭陽極芯體上形成介質氧化膜,並使用HP4263B型容量測試儀、38%(體積分數)硫酸測試液測試電容器容量,即C0。然後將已經形成Ta2O5介質氧化膜的鉭芯子浸入到配置好的氧化劑溶液(對甲基苯磺酸鐵正丁醇溶液)中,取出後在室溫下晾幹30min,然後浸漬單體溶液,取出後在室溫下晾幹60min,再將其浸在對甲基苯磺酸水溶液中洗去未反應的氧化劑、單體及反應副產物,重複此過程8~15次,完成聚合物在鉭陽極塊上的被覆,最後被覆石墨、銀漿,完成聚合物電容器的製備。使用HP4263B型容量測試儀測定樣品容量C、tanδ(120Hz)、Res(100kHz),使用公式:容量引出率=C/C0×100%,計算容量引出率。
2結果與討論
2.1氧化劑含量對樣品容量的影響
從圖1可以看出,電容器容量引出率隨氧化劑含量的增大而減小。當氧化劑含量達到25%時,容量引出率已經降低到一個比較低的水平,約為鉭陽極形成容量的82%。zheshiyinweisuizheyanghuajihanliangdezengjia,yanghuajihennandaodayangjixinzideneibu,tongshiyouxiangduijiaoduodeyanghuajichenjizaitanxinziweikongneiyanghuamobiaomianshang,yanghuajihanliangdezengjiashijuhefanyingsulvjiakuai,jieguozaochengdantirongyehaiweichongfenjinrutanxinneiweikongjiuzaitanxinbiaomianfujinfashengjuhe,xingchengyicengPEDT聚合物層,該層聚合物的存在阻礙了單體溶液的進一步滲透,造成內部聚合物沉積少,從而導致電容器的容量減少;eryanghuajihanliangdishi,yanghuajizaitanxinweikongneibudechenjishuliangxiangyingjianshao,jiangdilejuhesulv,shidantirongyenengchongfenshenrutanxinneibu,tigaolejuhewuzaitanxinneibudebeifubiaomianji,congertigaolechanpinrongliang。congtanxinneibuPEDT的滲入情況剖麵圖可以看到,隨著氧化劑含量增大,PEDT被覆到芯子內部的量在減小;氧化劑含量減小,PEDT被覆到芯子內部的量在增加(見圖2)。
[page]
2.2氧化劑含量對聚合物形成的影響
對(dui)於(yu)二(er)步(bu)法(fa)生(sheng)產(chan)工(gong)藝(yi),單(dan)體(ti)為(wei)聚(ju)合(he)反(fan)應(ying)過(guo)程(cheng)中(zhong)的(de)過(guo)量(liang)一(yi)方(fang),聚(ju)合(he)物(wu)生(sheng)成(cheng)的(de)量(liang)由(you)氧(yang)化(hua)劑(ji)的(de)量(liang)來(lai)決(jue)定(ding),聚(ju)合(he)物(wu)在(zai)鉭(tan)芯(xin)表(biao)麵(mian)的(de)沉(chen)積(ji)數(shu)量(liang)隨(sui)氧(yang)化(hua)劑(ji)含(han)量(liang)的(de)增(zeng)加(jia)而(er)增(zeng)加(jia)。從(cong)圖(tu)3可以看出,在相同的浸漬次數下,使用含量為5%的氧化劑陽極塊的質量增加為0.54%,而使用含量為40%的氧化劑陽極塊質量增加為3.52%,因此高含量的氧化劑可以有效增加聚合物的沉積量。

綜(zong)上(shang)所(suo)述(shu),氧(yang)化(hua)劑(ji)含(han)量(liang)低(di),每(mei)次(ci)浸(jin)漬(zi)後(hou)參(can)加(jia)反(fan)應(ying)的(de)氧(yang)化(hua)劑(ji)的(de)量(liang)相(xiang)應(ying)就(jiu)少(shao),聚(ju)合(he)物(wu)的(de)生(sheng)成(cheng)量(liang)也(ye)會(hui)相(xiang)應(ying)減(jian)少(shao),為(wei)了(le)形(xing)成(cheng)完(wan)整(zheng)的(de)聚(ju)合(he)物(wu)陰(yin)極(ji)層(ceng),隻(zhi)有(you)多(duo)次(ci)浸(jin)漬(zi)低(di)含(han)量(liang)氧(yang)化(hua)劑(ji)溶(rong)液(ye),才(cai)能(neng)形(xing)成(cheng)完(wan)整(zheng)合(he)格(ge)的(de)聚(ju)合(he)物(wu)陰(yin)極(ji)層(ceng),這(zhe)樣(yang)就(jiu)會(hui)造(zao)成(cheng)單(dan)體(ti)的(de)嚴(yan)重(zhong)浪(lang)費(fei)和(he)工(gong)序(xu)時(shi)間(jian)的(de)延(yan)長(chang)。而(er)氧(yang)化(hua)劑(ji)含(han)量(liang)高(gao),容(rong)量(liang)引(yin)出(chu)率(lv)低(di),因(yin)此(ci)為(wei)了(le)避(bi)免(mian)上(shang)述(shu)情(qing)況(kuang)的(de)出(chu)現(xian),在(zai)被(bei)覆(fu)聚(ju)合(he)物(wu)的(de)過(guo)程(cheng)中(zhong)需(xu)要(yao)凋(diao)整(zheng)不(bu)同(tong)含(han)量(liang)的(de)氧(yang)化(hua)劑(ji)。通(tong)過(guo)實(shi)驗(yan),筆(bi)者(zhe)將(jiang)二(er)步(bu)法(fa)的(de)工(gong)藝(yi)過(guo)程(cheng)分(fen)為(wei)二(er)個(ge)工(gong)藝(yi)段(duan):第一工藝段為鉭芯子內部容量引出過程:使用20%的低含量氧化劑溶液引出電容量見圖2(a);第二工藝段為鉭芯子表麵聚合物層增厚過程:使用40%的高含量氧化劑溶液增加聚合物陰極層的厚度,見圖4(b)。通過調整工藝過程達到了減少原材料使用量並縮短工藝時間。

2.3化學聚合溫度對電容器tanδ和Res的影響
聚合反應溫度對電容器的tanδ和Res都有較大影響,隨著聚合溫度升高,tanδ和Res有所增大。從圖5、圖6可以看出,當反應溫度從25℃增加到50℃後,tanδ由1.88%增加到了3.89%,電容器的Res由35mΩ增加到了56mΩ。這是因為聚合物生成速度與反應溫度成正比,溫度升高使聚合反應速度加快,溫度每升高10℃,juhefanyingsulvtigaoyibei,wendushenggaoshijuheguochengzhongrongyishengchengshaoliangxiaofenziliangjuhewufuchanwu,baofuyudafenziliangjuhechanwuzhongxingchengzazhi,yingxiangjuhewuxingchengwanzhengdewangluojiegou。juhetidejixiexingnenghedaodianxingnengyilaiyudafenziliangjuhewuxingchengdejiaohuwangzhuangjiegou,xiaofenziliangjuhewudexingcheng,zaochengjuhewucengdedaodianxingnengbiancha,yangpindetanδ和Res增大。

本文討論了影響二步法生產聚合物對鉭電解電容器電性能的影響,並基於試驗結果得出以下結論:
(1)在被覆過程中當氧化劑含量超過20%時會影響容量的引出,而使用40%以上的氧化劑能有效增加聚合物的沉積,所以最有效的工藝條件是先采用20%的低含量氧化劑,再使用40%的高含量氧化劑,可以達到最佳的被覆效果。
(2)聚合溫度對電容器的tanδ和Res有較大影響。電容器的tanδ和Res隨反應溫度增加而增大,最佳聚合反應溫度為25℃。
總(zong)而(er)言(yan)之(zhi),隻(zhi)要(yao)采(cai)用(yong)合(he)適(shi)的(de)工(gong)藝(yi)條(tiao)件(jian)和(he)優(you)化(hua)工(gong)藝(yi)流(liu)程(cheng),使(shi)用(yong)二(er)步(bu)法(fa)工(gong)藝(yi)可(ke)以(yi)生(sheng)產(chan)出(chu)符(fu)合(he)要(yao)求(qiu)的(de)聚(ju)合(he)物(wu)鉭(tan)電(dian)解(jie)電(dian)容(rong)器(qi),並(bing)且(qie)可(ke)降(jiang)低(di)生(sheng)產(chan)成(cheng)本(ben)。
- 鉭電容器介質氧化膜生產方法
- 一步法和二步法生產工藝對比
- 二步法生產聚合物對電容器電性能的影響
- 高含量的氧化劑可以有效增加聚合物的沉積量
- 溫度升高使聚合反應速度加快
電子技術的飛速發展要求芯片高頻化和電路板高密度組裝,推動了低Res、高容量、耐高紋波電流的電容器發展。由於MnO2電阻率較低(0.1Ω?cm),所以傳統的MnO2型鉭電解電容器Res大於100mΩ,致使其高頻性能較差。使用新型陰極材料降低電容器的Res是提高鉭電容器高頻性能的重要途徑之一。PEDT導電聚合物熱穩定性好、電阻率低,因此在電容器上的應用成為目前鉭電解電容器研究領域的熱點。
tongchangcaiyongdianhuaxuefahehuaxuefazaijiezhiyanghuamobiaomianbeifudaodianjuhewu。caiyongdianhuaxuefangfajinxingjuhewudechenjixuyaogaojingdudedianjihesifushebei,erhuaxuejuhefazhibeijuhewuyinjicailiaoduishebeiyaoqiujiaodi,yincigaifangfachengweidianrongqizhizaoshangdeshouxuan。
使shi用yong化hua學xue聚ju合he法fa在zai鉭tan氧yang化hua物wu表biao麵mian被bei覆fu聚ju合he物wu的de工gong藝yi又you可ke細xi分fen為wei一yi步bu法fa和he二er步bu法fa。其qi中zhong一yi步bu法fa是shi浸jin漬zi氧yang化hua劑ji和he單dan體ti預yu混hun合he溶rong液ye來lai完wan成cheng聚ju合he沉chen積ji的de工gong藝yi過guo程cheng,二er步bu法fa是shi先xian浸jin漬zi氧yang化hua劑ji(或單體)後浸漬單體(或氧化劑)來完成聚合物沉積的工藝過程,兩種工藝方法各有優劣。
一yi步bu法fa可ke以yi嚴yan格ge按an照zhao理li想xiang的de化hua學xue反fan應ying計ji量liang配pei製zhi氧yang化hua劑ji和he單dan體ti預yu混hun合he液ye,這zhe樣yang可ke以yi形xing成cheng較jiao理li想xiang的de聚ju合he物wu鏈lian,但dan是shi氧yang化hua劑ji和he單dan體ti混hun合he後hou就jiu開kai始shi進jin行xing聚ju合he反fan應ying。隨sui著zhe混hun合he液ye中zhong單dan體ti和he氧yang化hua劑ji含han量liang的de提ti高gao,聚ju合he反fan應ying速su率lv加jia快kuai,盡jin管guan用yong冷leng卻que方fang法fa並bing加jia入ru適shi量liang的de阻zu聚ju劑ji可ke以yi降jiang低di其qi聚ju合he反fan應ying速su度du,延yan長chang混hun合he液ye的de使shi用yong時shi間jian,但dan混hun合he液ye有you使shi用yong時shi限xian,用yong此ci法fa生sheng產chan成cheng本ben較jiao高gao。
二步法在使用過程中由於材料在鉭芯子上吸附量的差異,造成浸漬的氧化劑或單體無法達到理想的化學計量比[r(PEDT:Fe3+)為2.3~2.5],其qi反fan應ying生sheng成cheng的de聚ju合he物wu鏈lian相xiang對dui較jiao差cha,由you於yu氧yang化hua劑ji和he單dan體ti沒mei有you混hun合he,兩liang者zhe不bu會hui發fa生sheng反fan應ying,所suo以yi溶rong液ye不bu存cun在zai使shi用yong時shi限xian問wen題ti,因yin此ci可ke以yi有you效xiao降jiang低di生sheng產chan成cheng本ben。
筆者重點討論了在用二步法製備聚合物電解質的過程中氧化劑含量、聚合溫度等工藝條件對聚合物鉭電容器電容量C、介質損耗和Res等電參數的影響。
1實驗
試樣采用6.3V/150μF規格的鉭陽極體。選用CV值30k的鉭粉,壓製成尺寸3.3mm×1.4mm×4.3mm,質量為140mg的鉭塊,在真空條件下1350℃,燒結30min,然後將燒結塊浸於60℃、質量分數為0.1%的磷酸溶液中並對其施加30V直流電壓,在鉭陽極芯體上形成介質氧化膜,並使用HP4263B型容量測試儀、38%(體積分數)硫酸測試液測試電容器容量,即C0。然後將已經形成Ta2O5介質氧化膜的鉭芯子浸入到配置好的氧化劑溶液(對甲基苯磺酸鐵正丁醇溶液)中,取出後在室溫下晾幹30min,然後浸漬單體溶液,取出後在室溫下晾幹60min,再將其浸在對甲基苯磺酸水溶液中洗去未反應的氧化劑、單體及反應副產物,重複此過程8~15次,完成聚合物在鉭陽極塊上的被覆,最後被覆石墨、銀漿,完成聚合物電容器的製備。使用HP4263B型容量測試儀測定樣品容量C、tanδ(120Hz)、Res(100kHz),使用公式:容量引出率=C/C0×100%,計算容量引出率。
2結果與討論
2.1氧化劑含量對樣品容量的影響
從圖1可以看出,電容器容量引出率隨氧化劑含量的增大而減小。當氧化劑含量達到25%時,容量引出率已經降低到一個比較低的水平,約為鉭陽極形成容量的82%。zheshiyinweisuizheyanghuajihanliangdezengjia,yanghuajihennandaodayangjixinzideneibu,tongshiyouxiangduijiaoduodeyanghuajichenjizaitanxinziweikongneiyanghuamobiaomianshang,yanghuajihanliangdezengjiashijuhefanyingsulvjiakuai,jieguozaochengdantirongyehaiweichongfenjinrutanxinneiweikongjiuzaitanxinbiaomianfujinfashengjuhe,xingchengyicengPEDT聚合物層,該層聚合物的存在阻礙了單體溶液的進一步滲透,造成內部聚合物沉積少,從而導致電容器的容量減少;eryanghuajihanliangdishi,yanghuajizaitanxinweikongneibudechenjishuliangxiangyingjianshao,jiangdilejuhesulv,shidantirongyenengchongfenshenrutanxinneibu,tigaolejuhewuzaitanxinneibudebeifubiaomianji,congertigaolechanpinrongliang。congtanxinneibuPEDT的滲入情況剖麵圖可以看到,隨著氧化劑含量增大,PEDT被覆到芯子內部的量在減小;氧化劑含量減小,PEDT被覆到芯子內部的量在增加(見圖2)。
[page]2.2氧化劑含量對聚合物形成的影響
對(dui)於(yu)二(er)步(bu)法(fa)生(sheng)產(chan)工(gong)藝(yi),單(dan)體(ti)為(wei)聚(ju)合(he)反(fan)應(ying)過(guo)程(cheng)中(zhong)的(de)過(guo)量(liang)一(yi)方(fang),聚(ju)合(he)物(wu)生(sheng)成(cheng)的(de)量(liang)由(you)氧(yang)化(hua)劑(ji)的(de)量(liang)來(lai)決(jue)定(ding),聚(ju)合(he)物(wu)在(zai)鉭(tan)芯(xin)表(biao)麵(mian)的(de)沉(chen)積(ji)數(shu)量(liang)隨(sui)氧(yang)化(hua)劑(ji)含(han)量(liang)的(de)增(zeng)加(jia)而(er)增(zeng)加(jia)。從(cong)圖(tu)3可以看出,在相同的浸漬次數下,使用含量為5%的氧化劑陽極塊的質量增加為0.54%,而使用含量為40%的氧化劑陽極塊質量增加為3.52%,因此高含量的氧化劑可以有效增加聚合物的沉積量。

綜(zong)上(shang)所(suo)述(shu),氧(yang)化(hua)劑(ji)含(han)量(liang)低(di),每(mei)次(ci)浸(jin)漬(zi)後(hou)參(can)加(jia)反(fan)應(ying)的(de)氧(yang)化(hua)劑(ji)的(de)量(liang)相(xiang)應(ying)就(jiu)少(shao),聚(ju)合(he)物(wu)的(de)生(sheng)成(cheng)量(liang)也(ye)會(hui)相(xiang)應(ying)減(jian)少(shao),為(wei)了(le)形(xing)成(cheng)完(wan)整(zheng)的(de)聚(ju)合(he)物(wu)陰(yin)極(ji)層(ceng),隻(zhi)有(you)多(duo)次(ci)浸(jin)漬(zi)低(di)含(han)量(liang)氧(yang)化(hua)劑(ji)溶(rong)液(ye),才(cai)能(neng)形(xing)成(cheng)完(wan)整(zheng)合(he)格(ge)的(de)聚(ju)合(he)物(wu)陰(yin)極(ji)層(ceng),這(zhe)樣(yang)就(jiu)會(hui)造(zao)成(cheng)單(dan)體(ti)的(de)嚴(yan)重(zhong)浪(lang)費(fei)和(he)工(gong)序(xu)時(shi)間(jian)的(de)延(yan)長(chang)。而(er)氧(yang)化(hua)劑(ji)含(han)量(liang)高(gao),容(rong)量(liang)引(yin)出(chu)率(lv)低(di),因(yin)此(ci)為(wei)了(le)避(bi)免(mian)上(shang)述(shu)情(qing)況(kuang)的(de)出(chu)現(xian),在(zai)被(bei)覆(fu)聚(ju)合(he)物(wu)的(de)過(guo)程(cheng)中(zhong)需(xu)要(yao)凋(diao)整(zheng)不(bu)同(tong)含(han)量(liang)的(de)氧(yang)化(hua)劑(ji)。通(tong)過(guo)實(shi)驗(yan),筆(bi)者(zhe)將(jiang)二(er)步(bu)法(fa)的(de)工(gong)藝(yi)過(guo)程(cheng)分(fen)為(wei)二(er)個(ge)工(gong)藝(yi)段(duan):第一工藝段為鉭芯子內部容量引出過程:使用20%的低含量氧化劑溶液引出電容量見圖2(a);第二工藝段為鉭芯子表麵聚合物層增厚過程:使用40%的高含量氧化劑溶液增加聚合物陰極層的厚度,見圖4(b)。通過調整工藝過程達到了減少原材料使用量並縮短工藝時間。

2.3化學聚合溫度對電容器tanδ和Res的影響
聚合反應溫度對電容器的tanδ和Res都有較大影響,隨著聚合溫度升高,tanδ和Res有所增大。從圖5、圖6可以看出,當反應溫度從25℃增加到50℃後,tanδ由1.88%增加到了3.89%,電容器的Res由35mΩ增加到了56mΩ。這是因為聚合物生成速度與反應溫度成正比,溫度升高使聚合反應速度加快,溫度每升高10℃,juhefanyingsulvtigaoyibei,wendushenggaoshijuheguochengzhongrongyishengchengshaoliangxiaofenziliangjuhewufuchanwu,baofuyudafenziliangjuhechanwuzhongxingchengzazhi,yingxiangjuhewuxingchengwanzhengdewangluojiegou。juhetidejixiexingnenghedaodianxingnengyilaiyudafenziliangjuhewuxingchengdejiaohuwangzhuangjiegou,xiaofenziliangjuhewudexingcheng,zaochengjuhewucengdedaodianxingnengbiancha,yangpindetanδ和Res增大。

本文討論了影響二步法生產聚合物對鉭電解電容器電性能的影響,並基於試驗結果得出以下結論:
(1)在被覆過程中當氧化劑含量超過20%時會影響容量的引出,而使用40%以上的氧化劑能有效增加聚合物的沉積,所以最有效的工藝條件是先采用20%的低含量氧化劑,再使用40%的高含量氧化劑,可以達到最佳的被覆效果。
(2)聚合溫度對電容器的tanδ和Res有較大影響。電容器的tanδ和Res隨反應溫度增加而增大,最佳聚合反應溫度為25℃。
總(zong)而(er)言(yan)之(zhi),隻(zhi)要(yao)采(cai)用(yong)合(he)適(shi)的(de)工(gong)藝(yi)條(tiao)件(jian)和(he)優(you)化(hua)工(gong)藝(yi)流(liu)程(cheng),使(shi)用(yong)二(er)步(bu)法(fa)工(gong)藝(yi)可(ke)以(yi)生(sheng)產(chan)出(chu)符(fu)合(he)要(yao)求(qiu)的(de)聚(ju)合(he)物(wu)鉭(tan)電(dian)解(jie)電(dian)容(rong)器(qi),並(bing)且(qie)可(ke)降(jiang)低(di)生(sheng)產(chan)成(cheng)本(ben)。
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