無塵室電纜集塵問題研究
發布時間:2010-06-21
中心議題:
duiyujiejingshihuanjinglaishuo,dianlantuolianzhongdedianlanjichenshiyigefuzadewenti。weilejinliangjianshaojichen,xuyaojinkenengdibimiandianlanyijitaoguanzhijiandemoca。jinguantongguojianshaoyundongqijiankeyijianshaojichen,danshizidongshengchanxianshangdianlandeyundongbukebimian。lingwai,yongyufengeyuanxingdianlanhetaoguandefengepianhezhijiashichanshengjichendelingyigeyinsu。ruguobushiyongfengepian,huozhefengepianmeiyouzhengquedeanzhuang,dianlanyijitaoguanzhijiandemocajiangdaozhizhexiebujianderubian、移動或扭曲,這樣就會增加集塵。
weilehuodenengyunxingshangqianwancishoumingdedijichendianlanxitong,xitongshejigongchengshiyingjinkenengjianshaoyundongqijiandeshuliang,yijizhexielingjianzhijiandemoca。dianlantuolianzhizaoshanghuitigongxiangjindezhengqueanzhuangheshiyongdianlandezhinan,tajuedinglenidedianlanxitongjiejingdu。raner,yongzaijiejingshihuanjingdedianlanhedianlantuolianyinggaijingguoceshiquedingdianlancailiaodejichentexing,yijidianlanzaizhenggexitongdexianghuzuoyongwenti。
測試設計
為(wei)了(le)鑒(jian)別(bie)集(ji)塵(chen)是(shi)由(you)電(dian)纜(lan)還(hai)是(shi)電(dian)纜(lan)拖(tuo)鏈(lian)造(zao)成(cheng)的(de),將(jiang)相(xiang)同(tong)的(de)扁(bian)平(ping)電(dian)纜(lan)放(fang)在(zai)同(tong)一(yi)廠(chang)家(jia)生(sheng)產(chan)的(de)兩(liang)種(zhong)不(bu)同(tong)的(de)電(dian)纜(lan)拖(tuo)鏈(lian)中(zhong)進(jin)行(xing)了(le)測(ce)試(shi)。在(zai)測(ce)試(shi)中(zhong),選(xuan)擇(ze)了(le)兩(liang)種(zhong)非(fei)金(jin)屬(shu)電(dian)纜(lan)拖(tuo)鏈(lian):一種是低振動,無噪音的清潔型電纜拖鏈(拖鏈A),一種是帶有鏈環和銷的傳統拖鏈(拖鏈B)。除了測試了Gore無拖鏈電纜(TK31540-01),還對三種電纜拖鏈組合作了評估:
--電纜拖鏈A,安裝2根戈爾高柔性扁平電纜,一根電纜疊放在另一根上麵
--電纜拖鏈B,安裝2根戈爾高柔性扁平電纜,一根電纜疊放在另一根上麵
--電纜拖鏈A,安裝2根(gen)圓(yuan)形(xing)電(dian)纜(lan),一(yi)根(gen)電(dian)纜(lan)放(fang)在(zai)另(ling)一(yi)根(gen)旁(pang)邊(bian),無(wu)分(fen)隔(ge)器(qi)。為(wei)了(le)使(shi)對(dui)電(dian)纜(lan)的(de)摩(mo)擦(ca)最(zui)小(xiao),設(she)計(ji)了(le)具(ju)有(you)足(zu)夠(gou)空(kong)間(jian)的(de)拖(tuo)鏈(lian)使(shi)這(zhe)兩(liang)條(tiao)圓(yuan)形(xing)電(dian)纜(lan)之(zhi)間(jian)不(bu)會(hui)彼(bi)此(ci)接(jie)觸(chu)。
每mei個ge電dian纜lan拖tuo鏈lian垂chui直zhi放fang置zhi,與yu潔jie淨jing室shi的de空kong氣qi流liu動dong方fang向xiang相xiang對dui應ying,以yi確que保bao產chan生sheng的de所suo有you微wei粒li都dou被bei記ji錄lu下xia來lai。先xian確que定ding最zui有you可ke能neng產chan生sheng集ji塵chen的de電dian纜lan拖tuo鏈lian的de關guan鍵jian地di方fang,光guang學xue微wei粒li記ji數shu器qi放fang置zhi在zai每mei根gen電dian纜lan的de這zhe些xie區qu域yu的de三san個ge位wei置zhi(見圖1)。每個記數器會記錄0.1至5.0微米大小的微粒。在每個測量點對產生的懸浮微粒作100分鍾記錄,每根電纜分別在運行速度0.5米/秒、1.0米/秒、2.0米/秒作測試。
然後使用數學方法按微粒尺寸(0.1、0.2、0.3、0.5、1.0和5.0微米)計算每個測量點的最大數,按照GuidelineVDI2083Part9.1標biao準zhun確que定ding集ji塵chen數shu量liang。為wei了le能neng測ce定ding每mei個ge電dian纜lan拖tuo鏈lian係xi統tong的de運yun行xing實shi效xiao,弗fu勞lao恩en霍huo夫fu研yan究jiu所suo使shi用yong這zhe些xie結jie果guo來lai確que定ding最zui高gao集ji塵chen量liang的de測ce量liang點dian。運yun行xing實shi效xiao被bei用yong來lai確que定dingISO潔淨度認證的等級。

圖1.光學微粒記數器放置在每根電纜最有可能產生集塵的三個位置
[page]
結果
光學微粒記數器記錄了無拖鏈電纜(見表1)和裝有高柔性扁平電纜的電纜拖鏈A在每個測量點產生0個微粒(見表2)。按照VDIGuideline2083和ISO14644-1標準的集塵可能性的計算方法,測定這些電纜在上述測試速度的集塵可能性低於0.1%。


表2.裝有高柔性扁平電纜的電纜拖鏈A在每個測量點產生0個微粒
安裝圓形電纜的拖鏈A在不同運行速度都產生了不同數量的微粒(見表3)。按照VDIGuideline2083和ISO14644-1標準,鑒定這種電纜拖鏈/電纜裝置產生集塵的可能性是3%。

安裝高柔性扁平電纜的拖鏈B在不同運行速度下也產生了不同數量的微粒(見表4)。按照VDIGuideline2083和ISO14644-1標準,鑒定這種電纜拖鏈裝置產生集塵的可能性是3%。

當運行行程不超過1.5米時,這些電纜不需要電纜拖鏈、分隔器和支架,所以這些電纜能非常可靠地應用在1jijiejingshi。tongguoceshianzhuangzailiangzhongbutongdianlantuoliandegaorouxingbianpingdianlanbiaoming,jichenshiyoudianlantuolianzaochengde。gaorouxingbianpingdianlanzaituolianwangfanwanzheyundongdejichenliangshizuidide。chulebuxuyaodianlantuolianlidefengeqihezhijiawai,dianlandebianpingjiegoujunyunfenbuduidianlanhutaodezuoyongli,zheyangjiujianshaoleduidianlanhutaodemosun,yijiyouyuyundongyinqidemoca。tongguojiangsuoyoudianlan、軟管和光纖結構都放置在高柔性扁平電纜內,就可使用更小更輕的電纜拖鏈。
在使用帶拖鏈的圓形電纜係統時,為使集塵產生量最少,僅測試了使用無分隔器和支架、低振動的清潔型電纜拖鏈。由於集塵量取決於運行速度,這種電纜係統能應用於ISO14644-1標準的4級潔淨室。然而,這種設計不能準確反映實際使用中的電纜拖鏈的集塵情況,因為實際使用中電纜拖鏈內塞滿了電纜、套管、分隔器和支架,這就增加了摩擦和集塵量。
- 電纜集塵問題測試設計
- 電纜集塵問題對比結果
- 采用高柔性扁平電纜減少集塵
- 電纜采用扁平結構均勻分布
duiyujiejingshihuanjinglaishuo,dianlantuolianzhongdedianlanjichenshiyigefuzadewenti。weilejinliangjianshaojichen,xuyaojinkenengdibimiandianlanyijitaoguanzhijiandemoca。jinguantongguojianshaoyundongqijiankeyijianshaojichen,danshizidongshengchanxianshangdianlandeyundongbukebimian。lingwai,yongyufengeyuanxingdianlanhetaoguandefengepianhezhijiashichanshengjichendelingyigeyinsu。ruguobushiyongfengepian,huozhefengepianmeiyouzhengquedeanzhuang,dianlanyijitaoguanzhijiandemocajiangdaozhizhexiebujianderubian、移動或扭曲,這樣就會增加集塵。
weilehuodenengyunxingshangqianwancishoumingdedijichendianlanxitong,xitongshejigongchengshiyingjinkenengjianshaoyundongqijiandeshuliang,yijizhexielingjianzhijiandemoca。dianlantuolianzhizaoshanghuitigongxiangjindezhengqueanzhuangheshiyongdianlandezhinan,tajuedinglenidedianlanxitongjiejingdu。raner,yongzaijiejingshihuanjingdedianlanhedianlantuolianyinggaijingguoceshiquedingdianlancailiaodejichentexing,yijidianlanzaizhenggexitongdexianghuzuoyongwenti。
測試設計
為(wei)了(le)鑒(jian)別(bie)集(ji)塵(chen)是(shi)由(you)電(dian)纜(lan)還(hai)是(shi)電(dian)纜(lan)拖(tuo)鏈(lian)造(zao)成(cheng)的(de),將(jiang)相(xiang)同(tong)的(de)扁(bian)平(ping)電(dian)纜(lan)放(fang)在(zai)同(tong)一(yi)廠(chang)家(jia)生(sheng)產(chan)的(de)兩(liang)種(zhong)不(bu)同(tong)的(de)電(dian)纜(lan)拖(tuo)鏈(lian)中(zhong)進(jin)行(xing)了(le)測(ce)試(shi)。在(zai)測(ce)試(shi)中(zhong),選(xuan)擇(ze)了(le)兩(liang)種(zhong)非(fei)金(jin)屬(shu)電(dian)纜(lan)拖(tuo)鏈(lian):一種是低振動,無噪音的清潔型電纜拖鏈(拖鏈A),一種是帶有鏈環和銷的傳統拖鏈(拖鏈B)。除了測試了Gore無拖鏈電纜(TK31540-01),還對三種電纜拖鏈組合作了評估:
--電纜拖鏈A,安裝2根戈爾高柔性扁平電纜,一根電纜疊放在另一根上麵
--電纜拖鏈B,安裝2根戈爾高柔性扁平電纜,一根電纜疊放在另一根上麵
--電纜拖鏈A,安裝2根(gen)圓(yuan)形(xing)電(dian)纜(lan),一(yi)根(gen)電(dian)纜(lan)放(fang)在(zai)另(ling)一(yi)根(gen)旁(pang)邊(bian),無(wu)分(fen)隔(ge)器(qi)。為(wei)了(le)使(shi)對(dui)電(dian)纜(lan)的(de)摩(mo)擦(ca)最(zui)小(xiao),設(she)計(ji)了(le)具(ju)有(you)足(zu)夠(gou)空(kong)間(jian)的(de)拖(tuo)鏈(lian)使(shi)這(zhe)兩(liang)條(tiao)圓(yuan)形(xing)電(dian)纜(lan)之(zhi)間(jian)不(bu)會(hui)彼(bi)此(ci)接(jie)觸(chu)。
每mei個ge電dian纜lan拖tuo鏈lian垂chui直zhi放fang置zhi,與yu潔jie淨jing室shi的de空kong氣qi流liu動dong方fang向xiang相xiang對dui應ying,以yi確que保bao產chan生sheng的de所suo有you微wei粒li都dou被bei記ji錄lu下xia來lai。先xian確que定ding最zui有you可ke能neng產chan生sheng集ji塵chen的de電dian纜lan拖tuo鏈lian的de關guan鍵jian地di方fang,光guang學xue微wei粒li記ji數shu器qi放fang置zhi在zai每mei根gen電dian纜lan的de這zhe些xie區qu域yu的de三san個ge位wei置zhi(見圖1)。每個記數器會記錄0.1至5.0微米大小的微粒。在每個測量點對產生的懸浮微粒作100分鍾記錄,每根電纜分別在運行速度0.5米/秒、1.0米/秒、2.0米/秒作測試。
然後使用數學方法按微粒尺寸(0.1、0.2、0.3、0.5、1.0和5.0微米)計算每個測量點的最大數,按照GuidelineVDI2083Part9.1標biao準zhun確que定ding集ji塵chen數shu量liang。為wei了le能neng測ce定ding每mei個ge電dian纜lan拖tuo鏈lian係xi統tong的de運yun行xing實shi效xiao,弗fu勞lao恩en霍huo夫fu研yan究jiu所suo使shi用yong這zhe些xie結jie果guo來lai確que定ding最zui高gao集ji塵chen量liang的de測ce量liang點dian。運yun行xing實shi效xiao被bei用yong來lai確que定dingISO潔淨度認證的等級。

圖1.光學微粒記數器放置在每根電纜最有可能產生集塵的三個位置
[page]
結果
光學微粒記數器記錄了無拖鏈電纜(見表1)和裝有高柔性扁平電纜的電纜拖鏈A在每個測量點產生0個微粒(見表2)。按照VDIGuideline2083和ISO14644-1標準的集塵可能性的計算方法,測定這些電纜在上述測試速度的集塵可能性低於0.1%。


表2.裝有高柔性扁平電纜的電纜拖鏈A在每個測量點產生0個微粒
安裝圓形電纜的拖鏈A在不同運行速度都產生了不同數量的微粒(見表3)。按照VDIGuideline2083和ISO14644-1標準,鑒定這種電纜拖鏈/電纜裝置產生集塵的可能性是3%。

安裝高柔性扁平電纜的拖鏈B在不同運行速度下也產生了不同數量的微粒(見表4)。按照VDIGuideline2083和ISO14644-1標準,鑒定這種電纜拖鏈裝置產生集塵的可能性是3%。

當運行行程不超過1.5米時,這些電纜不需要電纜拖鏈、分隔器和支架,所以這些電纜能非常可靠地應用在1jijiejingshi。tongguoceshianzhuangzailiangzhongbutongdianlantuoliandegaorouxingbianpingdianlanbiaoming,jichenshiyoudianlantuolianzaochengde。gaorouxingbianpingdianlanzaituolianwangfanwanzheyundongdejichenliangshizuidide。chulebuxuyaodianlantuolianlidefengeqihezhijiawai,dianlandebianpingjiegoujunyunfenbuduidianlanhutaodezuoyongli,zheyangjiujianshaoleduidianlanhutaodemosun,yijiyouyuyundongyinqidemoca。tongguojiangsuoyoudianlan、軟管和光纖結構都放置在高柔性扁平電纜內,就可使用更小更輕的電纜拖鏈。
在使用帶拖鏈的圓形電纜係統時,為使集塵產生量最少,僅測試了使用無分隔器和支架、低振動的清潔型電纜拖鏈。由於集塵量取決於運行速度,這種電纜係統能應用於ISO14644-1標準的4級潔淨室。然而,這種設計不能準確反映實際使用中的電纜拖鏈的集塵情況,因為實際使用中電纜拖鏈內塞滿了電纜、套管、分隔器和支架,這就增加了摩擦和集塵量。
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