伺服加速度計如下所示，懸掛在鉸鏈上的是一個下垂的高磁導率質量。“向下”或“零位置”由零檢測器檢測
，平衡力由磁線圈提供。

 

伺服加速度計

 

如ru果guo對dui這zhe個ge組zu件jian施shi加jia加jia速su度du，就jiu會hui對dui質zhi量liang施shi加jia一yi個ge力li，它ta將jiang試shi圖tu從cong零ling位wei置zhi移yi動dong。當dang零ling檢jian測ce器qi檢jian測ce到dao運yun動dong時shi，通tong過guo伺si服fu放fang大da器qi增zeng加jia線xian圈quan電dian流liu以yi保bao持chi零ling位wei置zhi。

 

線圈電流提供保持零位置所需的恢複力
，這個電流將與施加的加速度成正比。

 

gaojingdudelingtanceqikeyihenrongyidizhizao，yinweizhegepianzhuandezongfanweishifeichangxiaode
，shishishang
，zengjialingtanceqidefenbianlvjiangdaozhixiangyingdetigaojiasudufenbianlv。

 

由(you)於(yu)伺(si)服(fu)加(jia)速(su)度(du)計(ji)的(de)主(zhu)動(dong)元(yuan)件(jian)在(zai)正(zheng)常(chang)工(gong)作(zuo)中(zhong)不(bu)發(fa)生(sheng)明(ming)顯(xian)的(de)位(wei)移(yi)，這(zhe)種(zhong)傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)遲(chi)滯(zhi)性(xing)能(neng)極(ji)低(di)，更(geng)多(duo)的(de)原(yuan)因(yin)是(shi)電(dian)路(lu)中(zhong)的(de)電(dian)滯(zhi)後(hou)，而(er)不(bu)是(shi)實(shi)際(ji)的(de)機(ji)械(xie)滯(zhi)後(hou)。地(di)震(zhen)裝(zhuang)置(zhi)的(de)阻(zu)尼(ni)是(shi)用(yong)矽(gui)油(you)在(zai)電(dian)氣(qi)和(he)機(ji)械(xie)上(shang)完(wan)成(cheng)的(de)。

 

相(xiang)對(dui)於(yu)應(ying)變(bian)式(shi)加(jia)速(su)度(du)計(ji)，伺(si)服(fu)加(jia)速(su)度(du)計(ji)具(ju)有(you)高(gao)零(ling)赫(he)茲(zi)穩(wen)定(ding)性(xing)和(he)低(di)熱(re)誤(wu)差(cha)的(de)微(wei)重(zhong)力(li)分(fen)辨(bian)率(lv)。大(da)尺(chi)寸(cun)的(de)慣(guan)性(xing)質(zhi)量(liang)在(zai)高(gao)衝(chong)擊(ji)事(shi)件(jian)中(zhong)會(hui)產(chan)生(sheng)很(hen)大(da)的(de)力(li)
，即(ji)使(shi)在(zai)高(gao)衝(chong)擊(ji)環(huan)境(jing)下(xia)

，這(zhe)種(zhong)傳(chuan)感(gan)器(qi)也(ye)可(ke)能(neng)包(bao)含(han)過(guo)遠(yuan)距(ju)離(li)衝(chong)擊(ji)停(ting)止(zhi)
，但(dan)這(zhe)種(zhong)傳(chuan)感(gan)器(qi)不(bu)適(shi)合(he)於(yu)高(gao)衝(chong)擊(ji)環(huan)境(jing)。

 

早期力平衡傳感器提供壓電或磁“抖動”機(ji)構(gou)，通(tong)過(guo)不(bu)斷(duan)地(di)對(dui)軸(zhou)承(cheng)進(jin)行(xing)輕(qing)微(wei)振(zhen)蕩(dang)以(yi)減(jian)小(xiao)粘(zhan)滯(zhi)效(xiao)應(ying)，使(shi)軸(zhou)承(cheng)摩(mo)擦(ca)係(xi)數(shu)保(bao)持(chi)在(zai)較(jiao)低(di)的(de)動(dong)態(tai)範(fan)圍(wei)內(nei)。最(zui)近(jin)的(de)設(she)計(ji)，利(li)用(yong)高(gao)分(fen)辨(bian)率(lv)零(ling)檢(jian)測(ce)係(xi)統(tong)，消(xiao)除(chu)了(le)軸(zhou)承(cheng)完(wan)全(quan)取(qu)代(dai)它(ta)簡(jian)單(dan)的(de)石(shi)英(ying)彎(wan)曲(qu)。結(jie)晶(jing)石(shi)英(ying)的(de)優(you)異(yi)的(de)力(li)學(xue)特(te)性(xing)

，作(zuo)為(wei)樞(shu)軸(zhou)，由(you)於(yu)質(zhi)量(liang)沒(mei)有(you)明(ming)顯(xian)偏(pian)轉(zhuan)，提(ti)供(gong)了(le)實(shi)質(zhi)上(shang)的(de)零(ling)滯(zhi)後(hou)性(xing)能(neng)。

 

伺服加速度計的典型實用平坦(±5%)頻率響應帶寬一般小於100赫(he)茲(zi)。基(ji)於(yu)閉(bi)環(huan)控(kong)製(zhi)網(wang)絡(luo)，相(xiang)對(dui)於(yu)應(ying)變(bian)規(gui)開(kai)環(huan)加(jia)速(su)度(du)計(ji)的(de)設(she)計(ji)，伺(si)服(fu)加(jia)速(su)度(du)計(ji)從(cong)過(guo)量(liang)程(cheng)輸(shu)入(ru)的(de)恢(hui)複(fu)時(shi)間(jian)可(ke)能(neng)很(hen)長(chang)。實(shi)際(ji)上(shang)，傳(chuan)感(gan)器(qi)在(zai)過(guo)程(cheng)輸(shu)入(ru)後(hou)的(de)恢(hui)複(fu)時(shi)間(jian)是(shi)恢(hui)複(fu)力(li)機(ji)構(gou)可(ke)用(yong)總(zong)功(gong)率(lv)的(de)直(zhi)接(jie)函(han)數(shu)。

 

典型的伺服傳感器通常以輸入驅動電流的50或100 mA為限流
，從而“能量限製”了由此產生的恢複力機製。

 

在典型的超限恢複時間為100毫秒。這種傳感器類型的大熱質量使設備對熱瞬變相當不敏感。

 

伺服壓力傳感器

 

 

圖顯示了基於上述概念的伺服概念是如何應用於製造極高精度壓力傳感器的。

 

伺si服fu壓ya力li傳chuan感gan器qi一yi般ban都dou很hen大da，通tong常chang不bu適shi用yong於yu動dong態tai壓ya力li測ce量liang或huo物wu理li敵di對dui環huan境jing，但dan非fei常chang適shi合he於yu在zai更geng良liang性xing的de物wu理li環huan境jing中zhong進jin行xing高gao精jing度du和he高gao分fen辨bian率lv的de壓ya力li測ce量liang。